[发明专利]等离子显示面板的制造方法以及用于此制造方法的基板的支撑台

说明书

技术领域

本发明涉及等离子显示面板的制造方法以及用于等离子显示面板的制造的基板的支撑台。

背景技术

等离子显示面板(以下称作PDP)具有将相向配置着的前面板与背面板各自的周边部通过密封部件而密封的构造。在前面板与背面板之间所形成的放电空间内，封入氖气或氙气等放电气体。前面板具备多个显示电极对、覆盖所述显示电极对的电介质层和保护层，所述显示电极对是由形成于玻璃基板一面上的条状扫描电极和维持电极所构成。显示电极对中的所述电极分别由透明电极和辅助电极构成，所述辅助电极形成在所述透明电极上且由金属材料构成。背面板具有玻璃基板、寻址电极、电介质基层、障壁和荧光体层。在玻璃基板的一面上，设置着多个寻址电极、覆盖所述寻址电极的电介质基层、障壁和三种荧光体层。寻址电极呈条状形成在与显示电极对正交的方向上。障壁设置为对应每一寻址电极来划分放电空间。荧光体层依次涂布在障壁之间相邻的各凹槽内，可分别发出红色、绿色、蓝色的光。

显示电极对与寻址电极正交，其交叉部分成为放电单元。所述放电单元呈矩阵状排列，在显示电极对的方向上排列的具有红色、绿色、蓝色荧光体层的3个放电单元形成为用来进行彩色显示的像素。在PDP中，对扫描电极与寻址电极之间和扫描电极与维持电极之间施加电压，以产生气体放电。接着，利用由所述气体放电所产生的紫外线来激发荧光体层发光。这样，PDP来进行彩色图像显示。

在前面玻璃基板上形成有显示电极对、电介质层等面板构造部件。在背面玻璃基板上形成有寻址电极、电介质基层、障壁、荧光体层等面板构造部件。

以下对所述前面板、背面板的制造方法进行说明。首先，在玻璃基板 上涂布所述面板构造部件的前驱体，之后根据需要利用光刻法或喷砂法等来进行图案化。在此，所谓面板构造部件前驱体，是指一经焙烧固化即可成为面板构造部件的材料，是由陶瓷、玻璃等无机材料和树脂等有机材料所构成。形成有面板构造部件前驱体的玻璃基板载置在支撑台上，与支撑台一起移到焙烧炉中。以此，面板构造部件前驱体被焙烧固化，从而在玻璃基板上形成面板构造部件。通过反复进行这样的面板构造部件前驱体的图案化和焙烧固化，来依次形成多个面板构造部件，以制造前面板和背面板。另外，焙烧炉内的温度根据面板构造部件的不同而不同，多数情况下是设定为500℃～600℃这样的高温。因此，通常是使用低膨胀率结晶化玻璃来作为支撑台，而使用高应变点玻璃来作为玻璃基板(例如，参看专利文献1)。

但是，这样的将低膨胀率结晶化玻璃作为材料的支撑台，会因反复经过焙烧固化步骤，而导致成核剂的结晶逐渐析出成核。例如，在Li₂O-A1₂O₃-SiO₂系的低膨胀率结晶化玻璃中，A1₂Ti₂O₇、ZrO₂等会析出成核。结晶析出成核的部分的密度大于其他部分的密度。由于该密度差，支撑台会产生细微变形。因此，在焙烧固化步骤中，玻璃基板有时会与产生了细微变形的支撑台摩擦而划伤。

因此，当焙烧固化步骤超过一定次数时，必须更换支撑台，从而导致生产率降低。

专利文献1：日本专利特开2003-346657号公报

发明内容

本发明是PDP的制造方法，是将形成有面板构造部件前驱体的玻璃基板载置到支撑台上对其进行焙烧固化，其中，支撑台是以氮化硅结合碳化硅的复合硅材料作为主成分，所述碳化硅的含量超过26.3重量％，但在44.4重量％以下。并且支撑台的线膨胀系数与玻璃基板的线膨胀系数之差为5×10^-6/K以下。通过以这样的方式来制造PDP，可以使得支撑台在焙烧固化步骤中不会引起细微变形。此外，由于支撑台与玻璃基板的线膨胀系数之差较小，所以支撑台与玻璃基板也不会摩擦，因而不会划伤。因此，可以提供高质量的PDP。而且，由于支撑台的更换频率减少，所以生产率得到提高。

附图说明

图1是表示利用本发明实施方式的制造方法所制作的PDP的构造的立体图。

图2是表示构成本发明实施方式的支撑台的复合硅材料中的碳化硅与氮化硅的结合状态的示意图。

图3A是从正面观察本实施方式中所使用的焙烧固化装置的概略说明图。

图3B是表示图3A中焙烧固化前的状态的概略说明图。

图3C是表示图3A中焙烧固化后的状态的概略说明图。