[实用新型]气密阀的密合结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种气密阀，尤指一种于阀门关闭时，可确实阻隔各腔室连通的气密阀的密合结构。

背景技术

按，习知的溅镀机，其包括有数个腔室，各腔室间连接有一阀门，该阀门一侧设有一控制装置，藉以控制各腔室的连通或关闭。

其中请参阅公开编号第200700570号「气密阀的密合结构」的发明专利，装设于溅镀机上，用于作为各腔室间的区隔，包含有：一转轴，穿设于溅镀机腔室开口的一侧。二支臂，以一端固设于该转轴上，可随该转轴的转动而摆动。一阀门板，枢设于两支臂，并可做一预定角度的偏摆。二弹性件，分别设于二支臂及阀门板之间。

由于转轴、支臂及阀门板间的配合，会有累积公差产生，因此转轴转动时，可带动支臂偏摆角度，并由支臂压抵弹性元件，使弹性元件压抵阀门板，使阀门板达到密合的效果；然而，由于弹性元件仅能利用其弹力压抵阀门板，其密合的效果仍有不足，故本实用新型人针对上述所存在的问题点，藉由多年从事相关领域的研究与制造开发经验，经审慎评估后，终于创作出一种可改进上述缺点的气密阀的密合结构。

发明内容

本实用新型的目的在于，提供一种气密阀的密合结构，以克服上述传统结构的缺陷，通过螺栓及螺杆调整阀门的密合度，使阀门调整到最密合的状态。

解决问题的技术特点：一种气密阀的密合结构，其特征在于，包括：

一阀门本体，该阀门本体设有一通孔，该阀门本体外侧，相对于通孔的内壁面位置设有一气压缸；

一连接杆，该连接杆枢设于通孔两端，该连接杆一端穿出通孔与该气压缸相连结；

数挡板，各挡板的一端部固设于该连接杆上，而另一端则朝下延伸；其中该各挡板上设有一固定孔及数螺孔；该固定孔穿设一螺栓，该螺栓上螺设有一螺帽，该固定孔与螺栓通过插销穿设组接，且该螺孔可螺设螺杆，该螺杆上位于挡板的两面分别螺设有螺帽；

一阀门，该阀门设于各挡板与抵压面间，各挡板的两螺杆压抵于阀门上，而该阀门上，相对于各挡板的固定孔，分别设有一可供螺栓螺设，并使螺栓可穿入阀门的固定座，该固定座的周缘设有一压板，该压板设于阀门上；另该阀门相对于抵压面一面的周缘，设有一O型环，O型环密实压抵于抵压面上。

其中，各挡板呈等间隔的设置于该连接杆上。

其中，该各挡板上设有前述的固定孔，该固定孔的上方及下方分别设有前述的螺孔。

藉此本实用新型的阀门与各挡板间，设有螺栓及螺杆，可利用螺栓及螺杆调整阀门的密合度，使阀门调整到最密合的状态，改良习知仅利用弹性元件弹力压抵的缺点。

对照先前技术的功效：本实用新型一种气密阀的密合结构，由于藉由螺栓及螺杆调整阀门的密合度，可使阀门调整到最密合的状态，改良习知仅利用弹性元件弹力压抵的缺点。

有关本实用新型所采用的技术、手段及其功效，兹举一较佳实施例并配合图式详细说明于后，相信本实用新型上述的目的、构造及特征，当可由的得一深入而具体的了解。

附图说明

图1是本实用新型的立体外观示意图。

图2是本实用新型的立体分解示意图。

图3是本实用新型的侧视示意图。

图4是本实用新型的剖面示意图。

具体实施方式

本实用新型提供一种气密阀的密合结构，如图1至图4所示，其包括：

一阀门本体10，该阀门本体10锁设于一溅镀机的两腔室间，该阀门本体10设有一通孔11，使得该阀门本体10位于通孔11的两端分别形成有内壁面，而通孔11两侧可连通两腔室，且该通孔11一侧的内周缘设有抵压面111；

其中该阀门本体10外侧，相对于通孔11的内壁面位置设有一气压缸12；

一连接杆20，该连接杆20枢设于通孔11两端，并使该连接杆20一端穿出内壁面，而与该气压缸12形成连结，且由该气压缸12驱使该连接杆20转动；

数挡板30，各挡板30呈等间隔的设置于该连接杆20上，各挡板30的一端部固设于该连接杆20上，而另一端则朝下延伸；其中该各挡板30上设有一固定孔301，该固定孔301的上方及下方分别设有一螺孔302(如图2所示)；

其中该固定孔301可穿设一螺栓303，该螺栓303上螺设有一螺帽304，并使该挡板30旁侧设有一穿过该固定孔301及该螺栓303的插销305，而让螺栓303可以插销305做支点旋转；

其中该螺孔302可螺设螺杆306，该螺杆306上位于挡板30的两面设有螺帽307；