[实用新型]微型致动器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种微型致动器，其通过减少平板与基板的接触面积，来改善传统微型致动器组件寿命短、驱动电压高等缺点。

背景技术

微型风扇(Micro Fan)包含有两个部份，其一是以自我组装技术(Self-assembly)制作的微风扇叶片，其二是以抓举式致动器(Scratch DriveActuator；SDA)或弹跳式致动器(Bounce Drive Actuator；BDA)作为转子所组成的微型马达(Micro Motor)。

如图1所示，以抓举式致动器(Scratch Drive Actuator；SDA)为例说明其动作原理：

抓举式致动器位于一基板12上，且其包含有一平板10与一轴衬11。

当平板10与轴衬11由电容式的结构形成时，可在平板10上得到静电力，当一个具周期性的静电力外加于平板10上时，平板10在基板12上便产生步进运动，如图中b、c、d所示，即描述当外加方波时，微致动器的平板10与基板12之间的步进动作。

当外加一个正偏压时，平板10因为静电力而被基板12吸引，此称之为折屈动作(snaping)，但是平板10前方具有轴衬11，使整个平板区域并不会完全吸附在基板12上，因此会有电荷暂存于平板10上，进而造成平板10具有弹性张力，当正偏压加大到达吸附电压(Priming Voltage)时，平板10因为静电力而产生较大变形，并大面积接触基板12。

当电压下降时，此弹性张力立即被释放，使得平板10恢复原来的形状，且在释放电压时，由于轴衬11一直与基板12接触，会让整个平板10前进。

再外加一个负偏压时，平板10也会被基板12吸附而产生重复的动作，使平板10在基板12上连续动作。

因为，传统的微型致动器平板10与基板12大面积的摩擦，故其间摩擦面积大相对磨损大，从而导致寿命短且驱动电压高、耗电流大，同时存在有瞬间的反转现象。所以，减少平板10与基板12的接触面积，就是减少摩擦力，降低驱动电压、延长组件寿命的关键。

发明内容

本实用新型的主要目的在于提供一种可以有效减少致动器平板与基板接触面积的微型致动器。

为达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种微型致动器，位于一基板上，其包含一平板与一轴衬，其特征在于：所述平板后端与所述基板间的接触呈非面接触。

上述本实用新型的技术方案中，所述平板后端与所述基板之间呈线接触。

上述本实用新型的技术方案中，所述平板后端与所述基板之间呈点接触。

上述本实用新型的技术方案中，所述平板后端为渐缩的三角形型态。

上述本实用新型的技术方案中，所述平板后端为圆弧型态。

上述本实用新型的技术方案中，所述平板后端的底面具有至少一个以上的突点。

采用以上技术方案，本实用新型的平板后端在接触基板时，其间呈非面接触，可有效降底摩擦、降低驱动电压并延长组件寿命。

附图说明

图1是传统微型致动器的动作图；

图2是本实用新型第一种实施型态的动作图；

图3是本实用新型第二种实施型态的动作图；

图4是本实用新型第三种实施型态的动作图。

具体实施方式

为了详细说明本实用新型的结构、特点及所达到的功效，现举以下较佳实施例并配合附图说明如下。

如图2所示，微致动器位于一基板22上，其包含一平板20与一轴衬21，其中，平板20的后端形成渐缩的三角形型态。

当外加一个正偏压时，平板20因为静电力而被基板22吸引，使得平板20端点接触基板22，且因为平板20接触基板22的摩擦力小于轴衬21对基板22的摩擦力，平板20仅以后端的极小面积接触基板22，进而造成轴衬21被挤压和内缩而具有弹性张力。

由于平板20仅与基板22作非面性接触，而且向后弹跳时，平板20向上弯曲使轴衬21与基板22的摩擦减小，再加上本实用新型微型致动器的平板20后端形成渐缩的三角形型态，所以当平板20后端接触基板22时，其间为呈点接触，可有效降底摩擦、降低驱动电压并延长组件寿命。

再如图3所示，为本实用新型第二种实施型态，其中平板20的后端形成圆弧型态，当平板20后端接触基板22时，其间一样为呈点接触，可有效降底摩擦、降低驱动电压并延长组件寿命。

又如图4所示，为本实用新型第三种实施型态，该微型致动器位于一基板22上，其包含有一平板20与一轴衬21，而且平板20的后端底面具有至少一个以上的突点23。