[实用新型]一种异型发热元件

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种发热元件，尤其涉及一种异型发热元件。

背景技术：

目前国内的二硅化钼基发热元件主要为U、W型产品，其自身形状简单，强度硬度低，弯曲强度低、断裂韧性较差、电阻率和热导率较低，不能高温弯曲成型，不可快速升温、热场不均匀稳定，只能用于普通的电炉设备，而不能制作用于晶圆生产所用快速热处理炉、扩散炉、CVD炉的发热元件，其不能满足快速热处理炉、扩散炉、CVD炉的升温工艺、均匀热场等技术要求。

实用新型内容：

本实用新型的目的在于克服上述已有技术的不足而提供一种利用通电加热高温弯曲技术加工成型，强度好，硬度高，弯曲强度高，断裂韧性好、电阻率和热导率高，可快速升温、热场均匀稳定，适用于快速热处理炉、扩散炉、CVD炉的异型发热元件。

本实用新型的目的可以通过如下措施来达到：一种异型发热元件，它具有发热部2，发热部2的两端设有端子部1，其特征在于发热部2为曲线型。

为了进一步实现本实用新型的目的，所述的发热部2为波状曲线型。

为了进一步实现本实用新型的目的，所述的发热部2的正面呈弧形，发热部2是由波状曲线型的棒材高温弯曲而成，该波状曲线型由均匀且交替分布的圆弧和直线圆滑连接而成。

为了进一步实现本实用新型的目的，所述的波状曲线型的发热部2由均匀且交替分布的圆弧和直线圆滑连接而成，其中波峰处的圆弧在同一平面上，波谷处的圆弧高低交错，且高、低圆弧分别在同一平面上。

为了进一步实现本实用新型的目的，所述的发热部2为螺旋型。

为了进一步实现本实用新型的目的，所述的发热部2采用二硅化钼基材料的棒材高温弯曲制成。

本实用新型同已有技术相比可产生如下积极效果：本实用新型的发热部为螺旋型、波状曲线型等曲线型，其具有强度好、硬度高、可高温弯曲加工的特点，其弯曲强度高，断裂韧性好、电阻率和热导率高，可快速升温、热场均匀稳定，其适用于大晶圆生产的快速热处理炉、扩散炉、CVD炉的核心部件，不仅能满足其特殊形状的要求，还能达到其快速升温、热场均匀稳定等一系列技术要求。

附图说明：

图1为本实用新型的第一种实施方式的俯视图；

图2为图1的正视图；

图3为本实用新型的第二种实施方式的俯视图；

图4为图3的正视图；

图5为本实用新型的第三种实施方式的正视图；

图6为图5的侧视图。

具体实施方式：

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作详细说明：

实施例1：一种异型发热元件(参见图1、图2)，它具有发热部2，发热部2的两端设有端子部1，发热部2的正面呈弧形，发热部2是由波状曲线型的棒材(二硅化钼基材料)高温弯曲而成，该波状曲线型由均匀且交替分布的圆弧和直线圆滑连接而成。

实施例2：一种异型发热元件(参见图3、图4)，它具有发热部2，发热部2的两端设有端子部1，发热部2的正面呈弧形，发热部2是由波状曲线型的棒材(二硅化钼基材料)高温弯曲而成，该波状曲线型由均匀且交替分布的圆弧和直线段圆滑连接而成，其中波峰处的圆弧在同一平面上，波谷处的圆弧高低交错，且高、低圆弧分别在同一平面上。

实施例3：一种异型发热元件(参见图5、图6)，它具有发热部2，发热部2的两端设有端子部1，发热部2是由螺旋型的棒材(二硅化钼基材料)高温弯曲而成。