[实用新型]多孔道蜂巢状吸附转轮的水洗再生装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种吸附转轮的水洗再生装置，尤指一种以空气气流流速为载流带送雾化后微小水雾清洗多孔道蜂巢状吸附转轮的水洗再生装置。

背景技术

现今工业界或高科技业者在处理挥发性有机废气的方法上，于高浓度时多采用冷凝法收集，而在低浓度且大风量时则以物理吸附方式浓缩处理后，再送往小型焚化炉燃烧或以冷凝装置回收较为经济有效。使用吸附方法处理挥发性有机废气时，运用含吸附剂的多孔性物质将废气中所含的挥发性有机化合物(VOCs)或臭味以物理或化学方式吸附，以达到净化废气的目的。而吸附剂达饱和后，须经由一脱附程序将吸附剂所吸附的物质去除，才可重复使用。

以半导体业晶圆厂产生的有机废气成分为例，所排放的废气中常含有如二甲亚砜(Dimethyl Sulfoxide)、N-甲基吡咯酮(N-Methyl Pyrolidone)、乙醇铵(2-Aminoethanol)、二甲基二硫醇(Dithiolethylene Glycol)、二甲基硫醇(Dimethyl Sulfide)、异丙醇(Isopropyl Alcohol)、丙酮(Acetone)等化合物，运用沸石转轮吸附浓缩废气后，再以焚化炉于摄氏600～900度以上的温度燃烧，分解这些挥发性有机物质以及臭气和毒气为最有效。目前以吸附浓缩沸石转轮处理加上燃烧焚化的方式，进行挥发性有机气体的废气排放处理，已在半导体及光电业界广为采用。

然而，上述吸附处理方式中，在经长期吸附及脱附循环使用后，会有因高沸点、聚合物等VOCs占据吸附浓缩沸石转轮的吸附剂活性吸附微孔洞而老化不易活化再生的问题。目前工业上所采用的在线再生方法通常是利用高温惰性气体将吸附于孔隙内的有机分子驱出，例如英国专利Brit.，1,546,437及德国专利Ger.Offen 2,419,827揭示以高温(120～300℃)惰性气体，将吸附于活性碳内的物质去除；日本公开昭63-310636则揭示一种以加热空气将吸附于沸石转轮内的有机物去除的方法。然而，由于系统设计的安全考虑，使得脱附高沸点VOCs温度不足，所以往往造成脱附不易，因此高沸点VOCs会占据吸附位置而蓄积于吸附剂上，影响系统整体效能，故成为部份光电业应用沸石吸附浓缩焚化系统效能不显著的原因；而以往亦有厂家欲以提高脱附温度以增加高沸点物质脱附效率，但这项操作措施容易造成系统跳机，形成无通风的密闭状态，若无如洒水、喷入冷却氮气等紧急处理程序，将会造成沸石吸附转轮组合处产生闷热状态，严重亦使得其局部温度异常突升、让沸石转轮产生结构性的永久破坏。

为了改善上述高温脱附可能产生转轮闷燃而破坏沸石转轮结构的问题，亦有提出以溶剂或水经由喷洒或浸泡的方式将吸附剂或吸附系统再生，即在沸石转轮系统增设一喷洒器，在脱附操作之前以溶剂喷洒清洗吸附剂，或将一溶剂贮槽增设于沸石转轮系统下方，使沸石转轮下方部分浸泡于其中，故沸石转轮增加一清洗区，该清洗区可将残留于沸石中吸附剂孔道内的高沸物质或寡聚物溶解而连续再生。然而，上述喷洒方式并无法使水或溶剂完全浸润清洗较厚的沸石转轮，以致于沸石转轮中仅有部分区域较能有效再生。再者，以浸泡方式则会增加溶剂使用量，产生大量清洗后的废溶剂并增加再生成本，况且后续废溶剂的处理亦会增加新的问题。

实用新型内容

因此，鉴于以上缺点，本实用性的目的在于，为改善长期使用的沸石转轮因高沸点、聚合物等VOCs占据吸附剂活性吸附微孔洞而老化不易活化再生的缺点，如何直接于在线使沸石转轮迅速且有效活化再生是本实用新型所要解决的方案以及改进之处。

为了改善上述现有技术所面临的问题，本实用新型设计出一种多孔道蜂巢状吸附转轮的水洗再生装置，该多孔道蜂巢状吸附转轮用以吸附处理挥发性有机废气，且其设置于一第一容置空间与一第二容置空间之间，而该水洗再生装置至少包含：

一进气道，其设置于该第一容置空间；

一风机，其可设置于该吸附转轮的上游处或下游处，用以将空气由该进气道导入该吸附转轮，并于吸附转轮的多孔道蜂巢状结构中产生一设定风速，以适当的气流流速为驱动力带送雾化后微小水雾，有效进入多孔道蜂巢状吸附转轮内部进行润湿、吸收、清洗转轮；

至少一雾化喷嘴单元，其设置于该第一容置空间，其将清洗液雾化成预设大小粒径的雾滴；及

一加压泵单元，其可将清洗液供应至该雾化喷嘴单元。

本实用新型的多孔道蜂巢状吸附转轮的水洗再生装置中，该吸附转轮可为转轮式或转环式。