[实用新型]垂直式探针界面板无效

专利信息
申请号: 200720141330.8 申请日: 2007-03-14
公开(公告)号: CN201069448Y 公开(公告)日: 2008-06-04
发明(设计)人: 苏仁彬 申请(专利权)人: 连陞科技有限公司
主分类号: G01R1/067 分类号: G01R1/067;H01L21/66
代理公司: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 代理人: 孙皓晨
地址: 中国*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 垂直 探针 界面
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及的是一种与晶圆测试的探针适配卡有关,特别是指用以结合垂直式探针的界面板。

背景技术

按,在晶圆制造完成后,必须再经由测试以确保其特性正确。而一般测试晶圆是利用一探针卡,其探针卡主要是由一界面板可为PCB板或其它的转接板与一探针座所构成,凭借将探针座上的探针与界面板上的焊点接触使所述的各探针与晶圆接触后的电气特性能传导至所述的界面板上,再由所述的界面板传输至测试机台加以检测。

惟,由于界面板主要用以作为探针座上的探针与测试机台间的电气传导媒介,因此所述的界面板必须具有能与所述的探针座上的探针加以连结的焊点,但因目前垂直式探针的型态主要以针数与探针间的间距作为区隔,而具有众多的型态,如12、16、24、48针数...等或各探针间的间距为80、100、200μm...等,因此在制造界面板时,必须因应各种针数与探针间距的不同而作不同型态的界面板,如第一与图2所示,是一种因应16针数探针座1的界面板2,其界面板2上布设有16个焊点3以供探针座1的探针4所连接,再请参阅如图3与图4所示,是一种因应24针数探针座5的界面板6,其界面板6上布设有24个焊点7以供探针座5的探针8所连接。但,如此一来,不仅将导致制造界面板的成本大幅提高,更加致使其制造上较为困难。

发明内容

本实用新型的主要目的在于,提供一种垂直式探针的界面板,是能共享在不同针数或探针间距的探针座所连接,用以克服上述缺陷。

缘以,为达成上述的目的,本实用新型所提供一种垂直式探针界面板,包含有一基板与一垂直探针连结区;所述的基板,具有一第一面与一相背在第一面的第二面;所述的垂直探针连结区,具有若干布设在所述的基板第一面中央位置的焊垫,且所述的焊垫依数量区分为至少两区块,以供不同探针针数的探针座所连结,所述的焊垫并依间距不同而区分为至少两区块,以不同探针间距的探针座所连结。

本实用新型的优点在于,可以单一型态加以供不同针数或不同探针间距的探针加以连结使用,使其不仅能使其运用范围更加广泛,更能减低所需的制造成本。

附图说明

图1是一种现有垂直式探针界面板的示意图;

图2是图1所示垂直式探针界面板的使用状态示意图;

图3是一种现有垂直式探针界面板的示意图;

图4是图3所示垂直式探针界面板的使用状态示意图;

图5是本实用新型一较佳实施例的结构示意图;

图6是图5所示较佳实施例的使用状态示意图;

图7是图5所示较佳实施例的另一使用状态示意图;

图8是本实用新型另一较佳实施例的结构示意图。

附图标记说明:现有1、5-探针座;48-探针;26-界面板;37-焊点;本实用新型100-垂直式探针界面板;10-基板;11-第一面;12-第二面;20-垂直探针连结区;21-第一区块;22-第二区块;23-第三区块;50-垂直式探针座;51-探针;60-垂直式探针座;61-探针;200-垂直式探针界面板;70-垂直探针连结区。

具体实施方式

为能更详细说明本实用新型的特征,兹举本实用新型一较佳的实施例并配合图式说明如下;其中:

请参阅图5,是本实用新型所提供一较佳实施例垂直式探针界面板100,其主要包含有一基板10与一垂直探针连结区20;其中:

所述的基板10,可为一PCB板或为其它材质所制成的转接板,具有一第一面11与一相背在第一面11的第二面12。

所述的垂直探针连结区20,是由为若干预定数量与预定间距的焊垫所构成,是布设在所述的基板10第一面11之中央位置处;且所述的各焊垫可依数量区分为至少两区块,在本实施例中是区分为一第一区块21、一第二区块22与一第三区块23,其中所述的第一区块21具有以基板10第一面11中央位置向外扩张的12个焊垫,而所述的第二区块22为含括第一区块21与自第一区块21位置向外扩张的24个焊垫其24个焊垫包含第一区块的12个焊垫,而所述的第三区块23为含括第二区块22与自第二区块22位置向外扩张的48个焊垫其48个焊垫包含第二区块的24个焊垫;且所述的垂直探针连结区20是与位于基板10第二面12预定位置上的焊垫图中未示电性连接。

另外,所述的垂直探针连结区20并可依间距分为至少两区块,在本实施例中是区分为以100μm为间距的第一区块与以200μm为间距的第二区块。

是以,上述即为本实用新型所提供一较佳实施例垂直式探针界面板100的各部构造介绍,接着再将其使用方式与特点介绍如下:

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