[实用新型]并联式低温等离子体灭菌装置

权利要求书

1.一种并联式低温等离子体灭菌装置，包括金属容器、至少两片筛网状金属天线、真空泵、绝缘支撑块、金属层板、至少两套射频电源和自适应射频耦合器以及射频电极、直流电源、真空计、内部温度传感器、湿度传感器、光敏传感器、过氧化氢储藏瓶、蠕动泵、液位传感器、硅胶导管、过氧化氢挡板、信号线、程序控制器；其特征在于：

金属容器一端有金属盖门，金属盖门设有观察窗、防压行程开关，金属容器侧端与金属盖门之间有密封圈；金属容器内壁上设有多个绝缘支撑块、至少两个射频电极、至少两个直流电极、真空计、内部温度传感器、湿度传感器、光敏传感器；多个绝缘支撑块内端固接有至少两片筛网状金属天线，至少两片筛网状金属天线并联于金属容器内表面附近，筛网状金属天线相互侧面有间隙，筛网状金属天线的形状与金属容器内壁相适配，其与金属容器内壁的间距为5mm～30mm，光敏传感器位于金属容器与筛网状金属天线之间；每一筛网状金属天线分别与一射频电极、一直流电极电连接；

金属容器中心部设有金属层板，金属层板为筛网状金属天线所包围，金属层板经绝缘支架与金属容器内壁固接；

金属容器通过真空波纹管与真空泵贯通连接，通过硅胶导管与过氧化氢储藏瓶贯通连接，硅胶导管上设有蠕动泵；过氧化氢储藏瓶内有液位传感器，硅胶导管在金属容器内的端口所对筛网状金属天线上的部分有过氧化氢挡板；

金属容器内壁上的每一射频电极顺序与金属容器外的自适应射频耦合器、射频电源电连接；金属容器内壁上的每一直流电极与金属容器外的直流电源电连接；

程序控制器位于金属容器外，经信号线与液位传感器电连接，并分别与真空泵、至少两个射频电源、至少两个自适应射频耦合器、至少两个直流电源、真空计、内部温度传感器、湿度传感器、光敏传感器和防压行程开关电连接。

2.如权利要求1所述的等离子体灭菌装置，其特征在于：所述直流电极、直流电源，至少为一个，分别与至少两片筛网状金属天线电连接。

3.如权利要求1所述的等离子体灭菌装置，其特征在于：所述金属容器，为圆柱形或立方形，壳体接地。

4.如权利要求1所述的等离子体灭菌装置，其特征在于：所述观察窗，装有防辐射的含铅钢化玻璃和起屏蔽作用的金属网丝。

5.如权利要求1所述的等离子体灭菌装置，其特征在于：所述筛网状金属天线，其网孔为直径9～11mm的园孔，网孔圆心间隔14～16mm。

6.如权利要求1所述的等离子体灭菌装置，其特征在于：所述光敏传感器，是检测灭菌时是否有辉光现象产生。

7.如权利要求1所述的等离子体灭菌装置，其特征在于：所述光敏传感器，检测含波长在100nm～400nm之间紫外线的光线。

8.如权利要求1所述的等离子体灭菌装置，其特征在于：所述过氧化氢储藏瓶、液位传感器、过氧化氢挡板为塑料或其他耐腐蚀材料制作。

9.如权利要求1所述的等离子体灭菌装置，其特征在于：所述金属容器，在其外侧周圆设有金属容器加热套，金属容器加热套内设有外部温度传感器。