[实用新型]移相横向剪切干涉仪

权利要求书

1. 一种移相横向剪切干涉仪，其特征在于由第一起偏器(1)、输入平行平板(2)、第二起偏器(3)、第三起偏器(4)、第一剪切平板(5)、第二剪切平板(6)、输出平行平板(7)、四分之一波片(8)、检偏器(9)、CCD相机(10)和计算机(11)组成，其位置关系如下：

第一起偏器(1)处于输入平行平板(2)的一侧且在其入射光路中，入射光束与所述的输入平行平板(2)成45°，所述的输出平行平板(7)与所述的输入平行平板(2)的材料与厚度相同且平行放置，在所述的输入平行平板(2)和输出平行平板(7)之间，在所述的输入平行平板(2)的第一介质面(21)的反射光路中设置第二起偏器(3)和第一剪切平板(5)，在所述的输入平行平板(2)的第二介质面(22)的反射光路中设置第三起偏器(4)和第二剪切平板(6)，所述的第一剪切平板(5)和第二剪切平板(6)倾斜方向相反地对称放置，该第一剪切平板(5)和第二剪切平板(6)具有绕公共轴同时进行反向旋转的机构，所述的第二起偏器(3)和第三起偏器(4)的材料与厚度相同，在所述的输出平行平板(7)的出射光路中依次是四分之一波片(8)、检偏器(9)和CCD相机(10)，该CCD相机(10)的输出端与所述计算机(11)的输入端相连。

2. 根据权利要求1所述的移相横向剪切干涉仪，其特征在于所述的第一起偏器(1)具有连续改变其透光轴方向的旋转机构，所述的检偏器(9)具有连续改变其透光轴方向的旋转机构。

3. 根据权利要求1所述的移相横向剪切干涉仪，其特征在于所述的输入平行平板(2)的入射面处于水平面内，所述的第二起偏器(3)和第三起偏器(4)的透光轴相互垂直，且与输入平行平板(2)的入射面平行或者垂直，所述的四分之一波片(8)的快轴方向与水平面成45°。

4. 根据权利要求1所述的移相横向剪切干涉仪，其特征在于所述的第一剪切平板(5)和第二剪切平板(6)为光学平行平板，所述的第一剪切平板和第二剪切平板若是光学平行平板，则它们的光学材料和厚度相同。

5. 根据权利要求1所述的移相横向剪切干涉仪，其特征在于所述的第一剪切平板(5)和第二剪切平板(6)为光学楔形平板，则它们的光学材料、厚度与楔角相同，所述的第一剪切平板(5)和第二剪切平板(6)的倾斜方向相反。

6. 根据权利要求1所述的移相横向剪切干涉仪，其特征在于所述的第一起偏器(1)、第二起偏器(3)、第三起偏器(4)和检偏器(9)是偏光棱镜，或者偏振片，或者其它线偏振光产生器。

7. 根据权利要求1所述的移相横向剪切干涉仪，其特征在于所述的四分之一波片(8)是双折射晶体波片，或者棱体型相位延迟器。