[实用新型]一种晶盒仓储柜

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种仓储装置，特别涉及一种具有活动搁架的晶盒仓储柜。

背景技术

随着晶圆尺寸从8寸增加到12寸，用于放置晶圆的前开式晶盒(FOUP)及其零配件的尺寸也越来越大，使得晶盒的重量不断增加，一个载满晶圆的FOUP的重量约为9.8Kg。如果这些物料都是自动作业的话，那么这种尺寸及重量的增加可能不会引起任何重大的人体生物工程风险。对于某些存放准备累积足够批量进入工艺设备的晶圆或挡片晶圆的晶盒，一般存放在洁净室内的人工仓储柜上。使用时，再将晶盒搬出，由手推运输车(cart)或其他搬运装置搬运至需要的工艺生产区。但是，全自动化作业是不能完全实现的，因此不可避免地还是存在人工搬运的情况，随着越来越多的芯片制造商往亚洲转移，而多数作业人员为女性，FOUP的尺寸及重量的影响变得更为明显。

从人体生物工程学的角度而言，搬运重物时最理想的搬运高度应当在人的腰部上下。而随着现行洁净室的运行成本及工作效率的提高，将存放FOUP的仓储柜的搁架高度设在作业人员腰部这样一个单一高度是不实际的，这样会大大降低仓储容量。因此，晶圆制造厂中采用具有多层固定式搁架的仓储柜来进行晶盒的存取，通常，一个仓储柜可分三层，每层放置数个前开式晶盒。作业人员需要重复由低到高或由高到低放置前开式晶盒的动作，如果不能遵从正确的举放技巧的话，会导致作业人员背部及腰部的持续性慢性疼痛，从而严重影响员工的身心健康。

有鉴于此，需要提供一种符合人体生物工程学原理的晶圆存储装置。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种具有自动升降搁架的晶盒仓储柜，以使作业人员在存取晶盒时，其作业高度可保持在符合人体工程学的最佳位置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶盒仓储柜，包括正前方开有作业窗口的柜体和设置于柜体内的数层搁架，其中，所述的晶盒仓储柜还包括一搁架导轨和一驱动装置，所述的数层搁架在驱动装置的驱动下沿搁架导轨在竖直方向上作升降运动。

所述的驱动装置包括：摇杆，由摇杆带动的滑轮连动组，以及在滑轮连动组的驱动下可绕其轴心转动的凸轮轴，所述凸轮轴的外周具有数个凹槽。

进一步地，所述搁架的底部通过一杠杆连接至一定滑轮，所述定滑轮的轴心与凸轮轴的轴心在同一竖直线上，且所述的定滑轮可以嵌入凸轮轴外周的凹槽中。

进一步地，凸轮轴外周的数个凹槽的底部到轴心的距离成等差数列，其公差等于相邻两层搁架的间距。

进一步地，所述柜体的顶部还设有滑轮，其上跨有滑轮绳，所述滑轮绳的一端固定至搁架，另一端连接一减力重锤。

所述的驱动装置也可以包括：可正、反转的马达；设置于柜体顶部的滑轮；跨设在滑轮上的滑轮绳，其一端缠绕在马达上，另一端连接至搁架；用于控制马达转向的控制按钮；以及一升降定位装置。

进一步地，所述的升降定位装置包括设置于搁架导轨两端的上位开关和下位开关，设置于搁架导轨上的数块定位挡板，以及固定在搁架上的定位开关。

进一步地，所述每个开关上还具有一触点，当上位开关的触点触碰到上层搁架时，或者当下位开关的触点触碰到下层搁架时，或者当定位开关的触点触碰到任一块定位挡板时，所述马达停止工作。

进一步地，相邻两块定位挡板的间距等于相邻两层搁架的间距。

进一步地，所述马达通过一继电器线圈依次电连接至所述控制按钮和定位开关，所述上/下位开关与一自保接点串联后并接在控制按钮的两端。

与传统的固定式搁架仓储柜相比，本实用新型的晶盒仓储柜为搁架自动升降式仓储柜，通过驱动装置控制搁架的上下移动，可使待存取作业的晶盒总保持在最佳的作业位置，从而有效解决了传统固定式仓储柜作业时，作业人员需频繁掂脚起身或弯腰存取不在腰部高度范围内的晶盒的问题。

附图说明

本实用新型的晶盒仓储柜由以下的实施例及附图给出。

图1是本实用新型的晶盒仓储柜的工作原理图。

图2是一种驱动装置的结构示意图。

图3是图2所示的凸轮轴的主视图。

图4是另一种驱动装置的结构示意图。

图5是图4所示的驱动装置的控制电路图。

具体实施方式

以下将对本实用新型的晶盒仓储柜作进一步的详细描述。