[实用新型]防变形溅镀治具

说明书

【技术领域】

本实用新型是一种防变形溅镀治具，特别是一种可避免溅镀面发红的防变形溅镀治具。

【背景技术】

塑料类产品的真空溅镀是在真空腔体内进行，由电磁场加速的Ar离子撞击靶材，而使金属原子脱离靶材并附着在被溅镀产品上。由于此撞击过程会使真空腔体内温度升高，且撞击过程会产生二次电子，这两个因素会使被溅镀产品的温度升高到80度以上，造成被溅镀产品上机械结构较薄弱部分变形。

为避免被溅镀产品因溅镀而发生变形，常用的处理方法为：在被溅镀产品的易变形区的上方增加一防护装置(如防变形网)，该防护装置在溅镀过程中会对二次电子形成屏蔽与反射作用，使二次电子的加热效应明显降低，并且通过局部遮蔽产品易变形区，使产品单位面积受热量大幅降低从而达到防变形之目的。

先前的防护装置仅靠工作人员的经验来制作及安装，经常由于防护装置的材料过厚，离被溅镀产品的距离过近，导致溅镀后产品表面发红。

【发明内容】

本实用新型的主要目的在于提供一种可避免溅镀面发红的防变形溅镀治具。

为达上述目的，本实用新型提供一种防变形溅镀治具，其包括一溅镀本体，该溅镀本体用以固定一被溅镀产品，且该被溅镀产品具有一易变形区；该溅镀本体的侧缘悬设一防护装置，且该防护装置的厚度为B，且该防护装置与该易变形区之间的距离为A，其中，A＞4.15B。

与现有技术相比较，本实用新型将防护装置离易变形区的距离与防护装置的厚度之比控制在合适范围内，从而可避免产生溅镀面发红现象。

【附图说明】

图1是本实用新型防变形溅镀治具的立体分解示意图。

图2是本实用新型防变形溅镀治具的立体组合示意图。

图3是本实用新型防变形溅镀治具应用时的剖面示意图。

【具体实施方式】

请参阅图1、图2及图3所示，本实用新型防变形溅镀治具包括一溅镀本体100，该溅镀本体100用以固定一被溅镀产品200(其设有一易变形区201)，于本实施例中，该溅镀本体100包括一承载板11及一盖体12，且该盖体12盖设于该承载板11上以固定该被溅镀产品200，于本实施例中，该被溅镀产品200置放于该承载板11上。且该溅镀本体100的侧缘悬设一防护装置300，于本实施例中，该防护装置300悬设于该盖体12的侧缘(该防护装置300可通过一螺丝固定于该盖体12的侧缘)。且该防护装置的厚度为B，且该防护装置300与该易变形区201之间的距离为A，其中，A＞4.15B。另，该防护装置300可为防变形网或防变形支架。

其中，防护装置300离易变形区201的距离A与防护装置300的厚度B之比是通过下表的实验数据而总结得到的。