[实用新型]双束双波长激光三维微熔覆制造混合集成电路基板的设备

权利要求书

1. 一种双束双波长激光三维微熔覆制造混合集成电路基板的设备，其特征在于：头部安装有X-Y振镜及聚焦镜的双Z型谐振腔双束双波长激光Nd:YAG激光器，安置于X、Y和Z三轴工作台上方，具有双工位智能微喷微细针管的多通道智能微喷送粉熔覆装置设置于“X、Y和Z三轴工作台”的两侧上方，与前者错开位置安装具有视觉三维采集信息的双摄像机结构的三维智能视觉检测识别装置，全部装置都通过控制电缆与系统数控中心相连。

2. 根据权利要求1所述的激光三维微熔覆设备，其特征在于所述的双Z型谐振腔双束双波长激光的Nd:YAG激光器的结构采用对称的Z型谐振腔，设置双面镀532nm、1064nm高反射膜的直角棱镜、设置一维转动的光束微调镜。

3. 根据权利要求1所述的激光三维微熔覆设备，其特征在于振镜x、y轴与工作台X、Y和Z轴的五轴并联成形装置的振镜x、y轴转动与工作台X、Y和Z轴移动的五轴并行联动。

4. 根据权利要求2所述的激光三维微熔覆设备，其特征在于光束微调镜轴与振镜x、y轴、工作台X、Y、Z轴的五轴，并联为准六轴并联机构。