[发明专利]桶槽漩流混合装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种桶槽漩流混合装置及方法，更具体地讲，涉及化学液体 混合领域。

背景技术

近来，半导体科技日新月异，在半导体原料供给上也更趋进步，由早期 的人工方式进料，演变成机械方式，至今，进化成电子自动化方式。为了使 作为半导体原料的化学液体能够充分混合且不易结固，传统上，通过电动马 达驱动多个叶片，再由多个叶片旋转，来混合化学原料槽内至少一种化学液 体，使至少一种化学液体达到混合且不易结晶的目的。

但是，通过电力来驱动的叶片，往往长时间浸于化学原料液体内，时间 一长，会有不同的化学原料被吸附到叶片上，不仅保养清洗困难，而且容易 造成化学原料槽中的成份纯度不良，另外，因化学原料的高侵蚀性，使叶片 受到腐蚀，掉入化学液体中而与化学液体混合，这将使化学原料槽内的化学 液体受到污染，造成制作的产品质量不佳。

鉴于传统技术中的各种问题，为了能够使之兼顾得到解决，本发明提出 一种桶槽漩流混合装置，以解决上述缺点。

发明内容

根据本发明的目的，提出一种桶槽漩流混合装置及方法。通过喷射流体， 产生漩流，产生快速且均匀的流场，达到液体充分混合，提高混合效率的效 果。

根据本发明的目的，提出一种桶槽漩流混合装置及方法，其中，通过利 用化学液体本身来扰动化学液体，这样，可以避免搅拌叶片腐蚀后的微粒产 生污染。

根据本发明的目的，提出一种桶槽漩流混合装置及方法，由于桶槽漩流 混合装置的喷嘴易于清洗及保养，可取代传统机械搅拌组件及轴封，成为架 构简易的混合装置。

根据本发明目的，提出一种桶槽漩流混合装置及方法，当两种以上比重 有差异的化学液体，因其本身互溶不佳，而各自分离时，可通过喷射流体， 产生均匀的漩流，使两种以上比重有差异的化学液体均匀混合。

根据本发明的目的，提出一种桶槽漩流混合装置及方法，通过喷射的流 体，产生均匀的漩流，使化学液体不产生结晶，克服了传统叶片与化学液体 接触产生接触面积，使化学液体结晶的缺陷，提升了制作过程的稳定性。

鉴于此，本发明的目的在于提供一种桶槽漩流混合装置，以提供使化学 原料混合的功能。该装置包含本体，本体具有相差一定高度的底部及顶部， 底部设有化学液体输出通道。多个喷嘴以对称的方式位于本体上。该桶槽漩 流混合装置还包括至少一种化学液体传输装置，所述化学液体传输装置具有 至少一个出水管路及至少一个进水管路，所述至少一个出水管路具有第一端 及第二端，所述至少一个进水管路具有第三端及第四端。压力泵位于化学液 体传输装置上，压力泵具有入口及出口，出水管路的第一端连接到喷嘴上， 第二端连接到压力泵的出口，进水管路的第三端连接到化学液体输出通道， 第四端连接到压力泵的入口。

其中，本体内具有化学液体，化学液体具有水平面，通过压力泵的驱动， 化学液体自化学液体输出通道流出，经由进水管路从压力泵的入口进入压力 泵，通过压力泵的出口输出至出水管路，然后，化学液体从喷嘴射出，使化 学液体水平面上形成漩流。

为了实现上述目的，本发明提供了一种桶槽漩流混合方法，适用于桶槽 漩流混合装置，首先所述混合方法包括下列步骤：

(1)步骤A：提供本体、压力泵、多个喷嘴及至少一种化学液体，该本体 具有底部，底部开设有化学液体输出通道，化学液体置于本体内，喷嘴连接 于本体上，压力泵介于喷嘴及化学液体输出通道之间；

(2)步骤B：驱动压力泵，使化学液体由化学液体输出通道输出，经过压 力泵至喷嘴射出；以及

(3)步骤C：利用喷嘴射出化学液体，带动本体内的化学液体形成漩流， 使化学液体混合。

根据本发明所提供的桶槽漩流混合装置及方法，能够有效地进行处理， 同时达到单纯简化的功能。

附图说明

通过下面结合示例性地示出一例的附图进行的描述，本发明的上述和其 他目的和特点将会变得更加清楚，其中：

图1是示出根据本发明第一实施例的桶槽漩流混合装置的立体结构的示 意图；

图2是示出根据本发明的第二实施例的桶槽漩流混合装置的立体结构的 示意图；

图3是示出根据本发明第三实施例的桶槽漩流混合装置的立体结构的示 意图；