[发明专利]滤光片洁净度的检测设备及方法

说明书

技术领域

本发明涉及滤光片的制程，尤其涉及一种滤光片洁净度的检测设备及方法。

背景技术

通常，照相机、数码相机、照相手机镜头模组等光学产品的各种光学镜片(Lens)、滤光片等光学元件，因为要避免入射光在经过每个元件时，部分入射光反射而导致的光能损耗，需要在每一个光学镜片的两面镀抗反射膜，或是在滤光片的一面镀上可滤掉某区段光的薄膜(如红外滤光片，紫外滤光片)，而在另一面镀上抗反射膜，通过这些光学薄膜以增加光学元件的抗反射性能，防止光能损耗。

所述光学薄膜的镀膜方式多以热蒸镀或溅镀方式进行。当光学元件需镀上光学薄膜时，其镀膜过程中通常包括：抽真空、加热、镀膜、冷却、破真空、取出光学元件等步骤。而当光学元件需要两面镀膜时，在第一面镀膜完后，过程还包括手动翻转光学元件夹具、抽真空、加热、另一面镀膜、冷却、破真空等步骤。该镀膜过程中，滤光片的洁净度会受到很多因素的影响，如电子枪，真空腔，镀膜基材等，各方面会造成镀膜后的成品在膜层中可能会有白点，若白点太多，会因洁净度太低则无法用于产品上。因此镀膜后的滤光片需要进行洁净度的检测，否则流入后段工序会造成产品良率下降的不良后果。

然而，传统的检测方法为人工检测，即检测人员用肉眼检视滤光片，如此方式既浪费时间又存在由于检测人员的视觉器官与认知能力的差异而造成的误差和误判。因此，如何快速而有效地对滤光片的洁净度进行检测的问题对于实现滤光片元件量产来讲是极为重要的课题。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种方便且准确地检测滤光片洁净度的检测设备。

一种滤光片洁净度的检测设备，包括：一个基台，一个除尘装置，一个图像获取装置，及一个图像处理及分析系统。该基台用于承载待检测滤光片；该除尘装置用于除去附着于该滤光片表面的尘粒；该图像获取装置用于获取及输出该滤光片的图像信息；该图像处理及分析系统用于接收及处理图像获取装置输出的该滤光片的图像信息且判断该滤光片洁净度是否符合预定标准值。

一种滤光片洁净度的检测方法，包括以下步骤：提供一个待检测滤光片和上述滤光片洁净度的检测设备；将所述滤光片放置至所述基台上；使用所述除尘装置处理所述滤光片，除去附着于该滤光片表面的尘粒；使用所述图像获取装置，对所述滤光片进行取像，获得所述滤光片的图像信息，并向所述图像处理及分析系统输出该图像信息；应用所述图像处理及分析系统，接收并处理所述滤光片的图像信息，并分析所述滤光片洁净度是否符合预定标准值。

相较于现有技术，所述的滤光片洁净度的检测设备及方法，实现了滤光片洁净度的自动化的检测，避免了人工检测方法的既浪费时间又存在由于检测人员的视觉器官与认知能力的差异而造成的误差和误判，可方便及准确地对半成品滤光片或成品滤光片的洁净度进行检测。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种滤光片洁净度检测设备的俯视示意图。

图2为本发明实施例提供的一种滤光片洁净度检测设备的部分部件的侧视示意图。

具体实施方式

下面将结合附图，对本发明实施例作进一步的详细说明。

请参阅图1，本发明实施例提供了一种滤光片洁净度的检测设备100。该检测设备包括一个基台10，一个除尘装置20，一个图像获取装置30，及一个图像处理及分析系统40。

该基台10上进一步包括一个输送带11。该输送带11以一定的速率沿一个方向移动。在本实施例中，该输送带11沿顺时针方向移动。而待检测滤光片60从基台10的右边放入，经由输送带11的传送，依次经过除尘装置20，图像获取装置30所对应的位置，从而可以实现整个检测流程。

该除尘装置20为一个离子风枪，该离子风枪的出风口对准放置滤光片的基台10，并与基台10处于同一水平面上。当输送带11顺时针移动时，输送带11上的所放置的滤光片依次经过该除尘装置20的出风口，该除尘装置20向外送风，即时除去滤光片上附着的静电离子和灰尘微粒。另外，除尘装置20也可以为离子风机等除尘装置。

该图像获取装置30为一个CCD摄像机，该摄像机镜头应对准输送带11上的滤光片。当然，该图像获取装置30也可以为CMOS摄像机或数码相机或摄像头等，只要是一种图像获取装置，并且获取的图像信息是数码形式的即可。该检测设备100最好进一步包括一个光源50，以辅助照明，例如白光光源。该图像获取装置30的拍摄区域最好与光源50的光路所照到的区域保持一致。该检测设备100工作时，该图像获取装置30利用一定强度的光源50照明，对传送带11上的滤光片进行取像，获得该滤光片的图像信息，如图2所示。