[发明专利]正型着色辐射敏感树脂组合物无效
| 申请号: | 200710129291.4 | 申请日: | 2007-06-27 |
| 公开(公告)号: | CN101097404A | 公开(公告)日: | 2008-01-02 |
| 发明(设计)人: | 山田爱理;横田明 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 段晓玲;韦欣华 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 着色 辐射 敏感 树脂 组合 | ||
1.一种正型着色辐射敏感树脂组合物,包括(A)碱溶性可固化树脂、(B)醌二叠氮化合物和(C)着色剂,其中(A)碱溶性可固化树脂是包含(a1)衍生自不饱和羧酸的结构单元和(a2)衍生自除不饱和羧酸外的具有氧杂环丁基的不饱和化合物结构单元的共聚物。
2.根据权利要求1的树脂组合物,其中(A)碱溶性可固化树脂进一步包含(a3)至少一种选自(a31)衍生自具有碳-碳不饱和键的羧酸酯的结构单元、(a32)衍生自具有碳-碳不饱和键的芳香族化合物的结构单元、(a33)衍生自丙烯腈化合物的结构单元、(a34)衍生自任选地具有N位取代的马来酰亚胺化合物的结构单元和(a35)衍生自具有碳-碳不饱和键的环氧化物的结构单元的结构单元。
3.根据权利要求1或2的树脂组合物,其中着色剂(C)是至少一种选自有机颜料和黑色无机颜料的颜料。
4.根据权利要求1-3任意一项的树脂组合物,进一步包括(D)有机溶剂。
5.一种着色硬化的树脂图案,其使用根据权利要求1-4中任意一项的树脂组合物形成。
6.一种生产着色硬化的树脂图案的方法,包括在基材上涂覆根据权利要求1-4中任意一项的树脂组合物,除去溶剂,用射线经掩模照射该树脂组合物,和然后用碱性水溶液实施显影,以形成图案。
7.根据权利要求6的生产着色硬化的树脂图案的方法,其中在图案形成后,进一步加热该图案。
8.一种生产着色硬化的树脂图案的方法,包括在基材上涂覆根据权利要求1-4任意一项的正型着色辐射敏感树脂组合物,除去溶剂,用射线经掩模照射该树脂组合物,用碱性水溶液实施显影以形成特定图案,和然后用射线照射基材上图案的全部或部分表面。
9.根据权利要求8的生产着色固化树脂组合物的方法,其中在用射线照射基材上图案的全部或部分表面后,进一步加热该图案。
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