[发明专利]匣盘输送装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种匣盘输送装置，特别是有关于一种具有两组同动推杆的匣盘输送装置，以改善匣盘输送时的效率。

背景技术

目前半导体元件测试大都使用自动测试系统(Automatic TestEquipment，ATE)来进行测试，检测完的晶圆经过切割成为晶粒(die)，再利用晶粒分类机(dice sorter)将晶粒放置于匣盘(tray)上，其中晶粒分类机上的匣盘输送装置对于晶粒分类机的处理效率有很大的影响。

图1A、图1B分别显示现有技术中，匣盘输送装置的侧面示意图与俯视示意图，该匣盘输送装置10，包含一匣盘储存槽11、一输送平台12、一推杆13、一作动推杆14、一输出平台16、一出料推杆18以及一匣盘存放装置19，另外还包含一芯片拾取头17。

匣盘储存槽11用以储存多个匣盘2，该匣盘储存槽11具有一匣盘输出装置112，每次可输出一匣盘2。推杆13设置于匣盘储存槽11下方，用以将由匣盘储存槽11输出的匣盘2推送至输送平台12。

输送平台12用以承载由匣盘储存槽11输出的匣盘2，且该输送平台12包含一缓冲区121与一作动区122。作动推杆14设置于输送平台12，用以推顶位于输送平台12的匣盘2，而令该匣盘2于输送平台12上移动。芯片拾取头17设置于作动区122的上方，用以将一晶圆上的芯片放入匣盘2。

输出平台16用以承载由输送平台12输出的匣盘2。出料推杆18设置于输出平台16，用以推顶位于输出平台16的匣盘2于输出平台16上移动。匣盘存放装置19用以储存多个匣盘2。

图1C至图1H显示图1B中，匣盘输送装置的动作过程。其中，图1C显示推杆13将由匣盘储存槽11输出的匣盘2移至输送平台12上的缓冲区121。

图1D显示作动推杆14移至缓冲区121，以推顶匣盘2于输送平台12上移动，此时，匣盘储存槽11输出一匣盘2至推杆13前方。

图1E显示作动推杆14将匣盘2推顶至作动区122，前述的芯片拾取头17可将一晶圆上的芯片放入匣盘2(图中未示)，此时，推杆13将由匣盘储存槽11输出的匣盘2移至输送平台12上的缓冲区121。

图1F显示作动推杆14将完成芯片放置的匣盘2移至输送平台12与输出平台16的交界。

图1G显示作动推杆14移至匣盘2的侧边，推顶匣盘2朝向输出平台16移动，此时，匣盘储存槽11输出一匣盘2至推杆13前方。

图1H显示作动推杆14推顶匣盘2的侧边，将匣盘2移至输出平台16，然后再由出料推杆18将匣盘2移至匣盘存放装置19，接着作动推杆14再重复前述的动作，移至缓冲区121以推顶下一个匣盘2于输送平台12上移动。

上述的匣盘输送装置10仅具有一作动推杆14，虽可通过该作动推杆14使得匣盘2在输送平台12上移动，然而当作动推杆14将匣盘2移至输出平台16后，该作动推杆14需要花费较长的时间，由输出平台16的位置移至该缓冲区121的位置，以取得下一个匣盘2，此时晶粒分类机必须等待该作动推杆14完成动作，造成时间的浪费。

鉴于上述现有技术所存在的缺点，有必要提出一种匣盘输送装置，以改善晶粒分类机必须等待作动推杆的问题，提高晶粒分类机的效率，并且可用在类似具有匣盘输送装置的设备上。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足与缺陷，提供一种匣盘输送装置，以改善晶粒分类机必须等待作动推杆的问题，以提高晶粒分类机的效率。

根据上述的目的，本发明提供一种匣盘输送装置，包含：一输送平台，该输送平台包含一缓冲区与一作动区；一入料推杆，该入料推杆设置于输送平台，用以推顶位于缓冲区的一第一匣盘于输送平台上移动；一作动推杆，该作动推杆设置于输送平台，用以推顶位于作动区的一第二匣盘于输送平台上移动；以及一输出平台，该输出平台用以承载由该输送平台输出的该第二匣盘；其中，入料推杆与作动推杆为同动，当作动推杆将位于作动区的该第二匣盘推顶至输出平台时，入料推杆可将位于缓冲区的该第一匣盘推顶至作动区，该作动推杆包含一第一作动推顶端与一第二作动推顶端，先以该第一作动推顶端推顶该第二匣盘，再以该第二作动推顶端推顶该第二匣盘，将位于该作动区的该第二匣盘推顶至该输出平台，该入料推杆包含一第一入料推顶端与一第二入料推顶端，先以该第一入料推顶端推顶该第一匣盘，再以该第二入料推顶端推顶该第一匣盘，将位于该缓冲区的该第一匣盘推顶至该作动区。