[发明专利]狭缝喷头及具备该狭缝喷头的药液涂敷装置

说明书

技术领域

本发明涉及狭缝喷头及具备该狭缝喷头的药液涂敷装置，更详细地 说，涉及可顺畅均匀地供给药液，容易维持装备状态的狭缝喷头及具备该 狭缝喷头的药液涂敷装置。

背景技术

在平板显示器板的制造过程中，有使用多种药液处理玻璃基板表面的 工序。例如，显影工序给玻璃基板均匀地供给显影液进行显影，显影设备 给曝光的玻璃基板表面均匀地涂敷显影液，形成一定时间的涂液(puddle) 进行显影。这时，为了得到显影工序上必要的喷洒的均匀性而供给低流量 (例如，1分钟约30升以下)的显影液时，从狭缝喷头中喷出的显影液形 成的液幕必须不发生分裂并保持一定的形状。

此外，半导体制造用的显影液因需要超高的纯度，所以价格很高。因 此，在显影工序中，如果可能的话，最好在基板的表面上均匀地涂敷最小 量的显影液。

因此，玻璃基板上的显影液涂敷状态的确保及通过低流量的显影液的 供给确保狭缝喷头的喷洒的均匀性是显影工序中的要点。

但是，历来的SUS材质的狭缝喷头，存在狭缝喷头自身很重，相对很难 装着在显影液涂敷装置上并保持的问题。此外，历来的狭缝喷头，还存在 以下问题，喷出显影液的喷出口的宽度过大时，显影液喷出得过多，另一 方面，喷出口的宽度过窄时，显影液的喷出速度过快而在玻璃基板上产生 气泡(bubble)。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于提供一种可顺畅地供给药液，容易地维 持装备状态的狭缝喷头。

本发明要解决的其他技术问题在于提供一种具备这样的狭缝喷头的 药液涂敷装置。

本发明的技术问题不限于以上提到的技术问题，对于未提到的其他问 题所属技术领域的技术人员从以下的记述中可以明确理解。

为了解决上述技术问题的本发明的一个实施方式的狭缝喷头具备形 成药液流入的供给孔的第1本体部，与上述第1本体部对向配置地第2本 体部，在上述第1及第2本体部之间配置的、使上述第1及第2本体部间 隔所定间隔的隔板。这里，上述隔板最好在上述第1及第2本体部之间具 备与上述供给孔连结的喷出口。

为了解决上述其他技术问题的本发明的一个实施方式的药液涂敷装 置，具备保管药液的药液供给源，与上述药液供给源连结的、传导上述药 液的配管，在基板上喷出上述药液的上述狭缝喷头。

发明效果

本发明的狭缝喷头及具备该狭缝喷头的药液涂敷装置，通过使用相对 轻且坚固的树脂系的物质形成狭缝喷头，使向药液涂敷装置上装着狭缝喷 头和管理很容易。

此外，通过调整隔板的厚度，可容易地控制狭缝喷头内药液的喷出速 度。

此外，通过曲折形成药液的喷出口，可防止药液的喷出速度过度上升 造成涂敷在基板上的药液产生气泡。

附图说明

图1是概略表示本发明的一个实施方式的药液涂敷装置的立体图。

图2是表示图1的药液涂敷装置中包含的狭缝喷头的侧面图。

图3是本发明的一个实施方式的狭缝喷头的分解立体图。

图4是图3的结合立体图。

图5是沿着A-A’线切断图4的狭缝喷头的截面图。

图6是本发明的其他实施方式的狭缝喷头的截面图。

附图标记说明

10基板

15药液

20基板移送装置

100药液涂敷装置

110药液供给源

120、122配管

130、132阀门

140供给线

150狭缝喷头

210第1本体部

212、214槽部

220第2本体部

222、224突出部

230隔板

240供给孔

250螺丝

252、254、256结合孔

260喷出口

具体实施方式

其他实施例的具体事项包含在详细的说明及附图里。