[发明专利]通过掩膜曝光生成三维对象的设备和方法有效
申请号: | 200710101018.0 | 申请日: | 2007-04-23 |
公开(公告)号: | CN101063812A | 公开(公告)日: | 2007-10-31 |
发明(设计)人: | 亨德里克·约翰;沃尔科尔·希勒恩;阿里·埃尔-斯博兰尼 | 申请(专利权)人: | 想象科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;G03F7/20;B29C67/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 康建忠 |
地址: | 德国格*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 通过 曝光 生成 三维 对象 设备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及通过经包含预定个分立成像元件(像素)的成像单元 输入的能量,在电磁辐射的作用下固化可固化材料,生成三维对象的 设备和方法。更具体地说,本发明涉及材料的固化基于通过光栅掩膜 的曝光,以及掩膜中的最小物理分辨率由像素的大小给出并且将空间 光调制器(SLM)技术应用于成像单元的设备和方法。
背景技术
如下的文献说明了构造“光硬化”光聚合物的三维对象的高度可 变方法,相关内容请参阅:“Automated Fabrication-Improving Productivity in Manufacturing”by Marshall Burns,1993(ISBN 0-13-119462-3)。
除了其他因素之外,已知可能是通过如下的曝光:
a)多媒体投影仪;
b)LC(液晶)显示器(反射、透射);
c)LED(发光二极管)或激光二极管行(在一个区间中与行垂 直地移动);
d)光阀技术(MEMS)。
在如下的专利中描述了三种方法:
美国德克萨斯仪器公司的美国专利 US005247180A“Stereolithographic Apparatus and Method of use” (1993年9月);
SRI国际公司的美国专利US005980813A“Rapid Prototyping using multiple materials”(1999年11月);和
Karlsruhe大学信息学研究中心的实用新型公布DE G 9319 405.6“Device for the production of a three-dimensional object(model) according to the principle of photo solidification”;
尤其,根据类似的方法,DeltaMed的实用新型公布DE 29911122 U1“Device for producing a three-dimensional object”(1999年6月) 描述了生成微技术三维部件的应用;
Envision Technologies股份有限公司的EP 1250997A(=US2002155189A)“Device for producing a three-dimensional object”(2002年4月);
丹麦DICON AS Lystrup公司的德国专利DE69909136T“Rapid Prototyping Device and Rapid Prototyping Method”(2003年7月) (等效于:欧洲专利EP 1156922“Rapid Prototyping Apparatus and Method of Rapid Prototyping”(2003年8月));
HAP,Sitec Industrietechnologie and DELTAMED Medizinprodukte股份有限公司的WO 01/00390A;和
Envisiontec股份有限公司的WO 2005/110722A。
对于产生光聚合作用的基于激光系统,通过激光束的能量设置提 供曝光点的光输出,从而可以在那个点上控制光聚合物的硬化深度。 为了可选择地硬化相应层,在要相应硬化的横断区上扫描激光束。
可以像曲线那样用激光束扫描要硬化的横断区的轮廓。
对于通过利用SLM技术的投影系统,根据掩膜投影产生光聚合 作用的系统,其优点在于,可以一次性曝光整个横断区。投影光栅图 像的光区逐个体素地硬化光聚合物。
利用SLM技术的投影系统的缺点在于,取决于:
a)使用的光源;
b)将光能耦合到SLM的光学系统;和
c)投影光学器件的光晕,
图像面上的光输出分布非常不均匀(绝对值高达50%)。
在使用寿命期间光源特性的变化导致可变的误差,因此,导致变 化的均匀分布。
此外,光源光强的变化不会导致与激光一样的选择性变化,但影 响整个投影图像。
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