[发明专利]薄板状材料输送用气动工作台以及薄板状材料输送装置

说明书

技术领域

本发明涉及非接触地支撑薄板状材料的薄板状材料输送用气动工作台以及具有该气动工作台的薄板状材料输送装置，所述薄板状材料是用于液晶显示板(LCD)、等离子体显示器(PDP)等平板显示器(FPD)的大型薄玻璃基板。

背景技术

对于液晶显示器、等离子体显示器等平板显示器的玻璃基板而言，稍微一点损伤或尘埃都会对其品质产生很大影响，因此在这样的玻璃基板的输送过程中，要求将玻璃基板保持为近似平面的形状并且沿着预定输送面平滑地输送，使得在玻璃基板表面不产生损伤、不附着异物。

另一方面，在液晶显示器中，玻璃基板的尺寸日趋大型化，例如在第8代中，相对于W2200mm×L2500mm这样的大小，厚度约为0.5～0.7mm，是非常薄的，因此在水平输送玻璃基板时，如果仅支撑其外周端部而不支撑其更靠内侧部分，则中央部会严重下垂。

因此，玻璃基板的输送装置正在力求尽可能均匀地支撑玻璃基板的整个平面，并且保持近似平面的形状地进行输送。

已知有下述的输送装置，例如，在输送面的输送方向以及与输送方向垂直的宽度方向上以适当的节距设置多个辊，用所述的多个辊从下方支撑玻璃基板并驱动。

但是，在用多个辊从下方支撑并驱动玻璃基板的输送装置中，随着玻璃基板的大型化，辊、轴、轴承等部件的件数或装配工时数增加，因此存在制造成本增加的问题。而且，由于部件件数的增加，还存在维护成本增加的问题。此外，因为玻璃基板与辊反复地接触和分离，因而产生振动，由此引起噪音或尘埃，有时对玻璃基板的表面产生损伤，并且随着辊的增加，存在更容易产生噪音或尘埃的问题。此外，由于轴的长度变长而导致的轴的平直度下降和弯曲量增加，造成辊的旋转精度下降，由于这一点，也存在容易产生噪音或尘埃且玻璃基板的表面容易损伤的问题。

与此相对照，已知有下述的输送装置，即、使用在上面板形成有多个给气孔的气动工作台，使玻璃基板上浮并且利用空气的压力进行驱动，从而非接触地进行输送(例如参见日本特开平10-139160号公报、日本特开平11-268830号公报、日本特开平11-268831号公报)。

此外，已知有下述这样的输送装置(例如日本特开2003-63643号公报、日本特开2005-29359号公报)，即、在玻璃基板的宽度方向的中央附近设置气动工作台以抑制玻璃基板的中央部的下垂，并且在玻璃基板的垂直于输送方向的宽度方向的两端附近用辊从下方进行支撑地驱动玻璃基板。

此外，气动工作台的上面板大多使用成本低、容易得到的冲孔金属等。

但是，冲孔金属的孔直径通常为约1～10mm，使玻璃基板上浮所需的充足量的空气从这样大的给气孔中喷射出来，将会导致空气的流速过快的问题。

进一步详细地说明，虽然玻璃基板的输送装置在无尘室内使用的情况很多，但无尘室的洁净空气的下降气流的流速约为500mm/sec，而从直径约1～10mm的给气孔喷射的空气的流速约为900～2500mm/sec，远远快于无尘室的洁净空气的下降气流，因此存在使无尘室内产生空气紊流的问题。此外，由于这样的空气紊流，有时尘埃等异物反而容易附着到玻璃基板上。另外，为了抑制无尘室内的空气紊流，优选将从气动工作台喷射的空气的流速限制为比无尘室的洁净空气的下降气流的流速小。

与此相对，由陶瓷等多孔质材料构成上面板的气动工作台也是已知的(例如参见日本特开平2004-307152号公报)。

此外，在冲孔金属等上面板之下设置了树脂、陶瓷等多孔质板材以及布、纸等材料的气动工作台已为人们所知(例如参见日本特开2004-345744号公报)。

由此，通过隔着多孔质的板材及布、纸等喷射空气，从给气孔喷射出的空气，其气流的分布是均匀的，抑制了气流的紊流。

发明内容

但是，由陶瓷等多孔质材料构成上面板的气动工作台、以及在冲孔金属等的上面板之下设置树脂、陶瓷等多孔质板材的气动工作台，实际上因为树脂、陶瓷等多孔质板材的通气阻力较大的缘故，能喷出的空气的流量较小，虽然抑制了无尘室内空气的紊流，但是存在上浮量小的问题。