[发明专利]用于清洁平板显示器的装置及其所使用的滚刷有效
申请号: | 200710098261.1 | 申请日: | 2007-04-25 |
公开(公告)号: | CN101088636A | 公开(公告)日: | 2007-12-19 |
发明(设计)人: | 张景德;印义植;李晟熙 | 申请(专利权)人: | 株式会社细美事 |
主分类号: | B08B11/00 | 分类号: | B08B11/00;B08B7/04;B08B1/04;B08B3/04 |
代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人: | 高翔 |
地址: | 韩国忠清南*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 清洁 平板 显示器 装置 及其 使用 | ||
本申请要求2006年6月12日在韩国知识产权局递交的韩国专利申请号为10-2006-0052501的专利申请的优先权,其公开的全部内容引用于此作为参考。
技术领域
本发明涉及一种用于清洁平板显示器的装置及其所使用的滚刷,具体地说,涉及一种能防止内部的雾气向外漏泄的用于清洁平板显示器的装置及其所使用的滚刷。
背景技术
对于需要精密加工的电子设备,包括半导体制造工艺,清洁工艺是一个关键的工艺。具体地说,平板显示器的清洁工艺,即本发明的技术领域,是通过平板显示器在一对上、下滚刷之间移动,同时清洁液通过喷嘴(图中未表示)喷射到显示器上,滚刷刷洗或擦洗平板显示器来实现的。
根据已有技术的用于清洁平板显示器的装置及其所使用的滚刷将参照图1进行说明。
图1是表示根据已有技术的用于清洁平板显示器的装置100和滚刷150的附图。
参照图1,根据已有技术的用于清洁平板显示器的装置100包括位于内壁的可旋转的挡液部件120,与挡液部件120结合为一体的可旋转的旋转轴130,在旋转轴130的主体部分形成的刷体140。根据已有技术的用于清洁平板显示器的装置100的滚刷150垂直移动。因此,位于内壁110上的挡液部件120交错设置,需要在内壁110上提供一个开口105以允许滚刷150的旋转轴130和挡液部件120移动。
根据已有技术,需要在内壁110上提供开口105以允许用于清洁平板显示器的装置100和滚刷150垂直移动。因此,清洁平板显示器过程中产生的雾气会通过开口150向外漏泄。漏泄出来的雾气影响用于清洁平板显示器的装置100的轴承设备,及其更大范围的,其他工艺中的其他设备。具体地说,雾气导致金属材料的腐蚀。此外,雾气与空气和浮尘混合可能影响要求化学稳定的生产线和其它工艺。由于清洁液需要清洁平板显示器表面形成的微尘或有机残留,所以该清洁液为酸性或碱性,依其种类有很强的活性。具体地说,如果清洁液体具有高极性,其不仅会影响处理设备,还会影响人体。因此,有必要防止雾气向生产线漏泄。但是,对于根据已有技术的用于清洁平板显示器的装置100来说,由于开口105是必需的,因此不可能防止设备腐蚀和空气污染。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种能防止雾气向外漏泄的用于清洁平板显示器的装置及其所使用的滚刷。
本发明的目的不限于上述目的,通过下面的说明,所属技术领域的技术人员当可显而易见地了解本发明的其它目的。
根据本发明的一个方面,提供一种用于清洁平板显示器的装置,该装置包括内壁,中空圆柱形结合部,每一个该结合部都连接到内壁并具有一个开口,滚刷,每一个该滚刷都包括穿过中空圆柱形结合部开口的旋转轴,与旋转轴结合的、具有比结合部外径大的内径的中空圆柱形挡液部件,以及刷体。
旋转轴可以水平布置,垂直移动。
结合部外径与挡液部件内径之间的间隔可以设置成与滚刷的垂直移动范围相等。
内壁可以包括用于使旋转轴从中穿过的通孔。
用于清洁平板显示器的装置还可以包括驱动部分,每一个该驱动部分设于旋转轴的一端。该驱动部分可以设置在内壁的外部,可以通过发动机和传动皮带驱动旋转轴。
挡液部件可以设置在滚刷的外端部。
用于清洁平板显示器的装置还可以包括结合部和旋转轴之间的轴承。
用于清洁平板显示器的装置还可以包括设于挡液部件外部的风扇。
当风扇和滚刷一同旋转时,可以产生自内壁向内的气流。
风扇可以包括多个扇叶,可以用螺丝固定于挡液部件或插入挡液部件外部形成的凹槽,以与挡液部件结合或分开。
滚刷可以是一对,以上下布置。在该对滚刷中,从第一滚刷的主体部分到挡液部件的水平末端部分的长度可以小于从第二滚刷的主体部分到挡液部件的水平起始部分的长度。
根据本发明的第二方面,提供一种用于清洁平板显示器的装置,该装置包括圆柱形第一旋转轴,第一中空圆柱形结合部,其具有用于使第一旋转轴从中穿过的开口,第一中空圆柱形挡液部件,其位于第一旋转轴的第一位置以与第一旋转轴结合,并且,其具有比第一中空圆柱形结合部的外径大的内径,第一滚刷,其具有位于主体部分的第一刷体,圆柱形第二旋转轴,第二中空圆柱形结合部,其具有用于使第二旋转轴从中穿过的开口,第二中空圆柱形挡液部件,其位于第二旋转轴的第二位置以与第二旋转轴结合,并且,其具有比第二中空圆柱形结合部的外径大的内径,以及第二滚刷,其包括位于主体部分的第二刷体。
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