[发明专利]动态量测干涉信号解析的方法有效
| 申请号： | 200710097698.3 | 申请日： | 2007-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN101294791A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 陈亮嘉;张中柱;黄耀庭;陈金亮 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B9/023 | 分类号： | G01B9/023 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 动态 干涉 信号 解析 方法 | ||
1.一种动态干涉信号解析的方法，适用于量测一待测物的动态特性与动态时的表面轮廓，其特征在于，该动态干涉信号解析的方法包括：
该待测物振动时，撷取一动态干涉信号；
对该动态干涉信号进行一反褶积运算，以求得一还原动态干涉信号，其中对该动态干涉信号进行该反褶积运算的步骤包括：
将一频闪脉冲光束的强度由时域转换为频域；
将该动态干涉信号由时域转换至频域；
于频域中，计算该动态干涉信号除以该频闪脉冲光束的强度；以及
对该动态干涉信号除以该频闪脉冲光束的强度的值进行由频域转为时域的一反转换运算以求得该还原动态干涉信号。
2.如权利要求1所述的动态干涉信号解析的方法，其特征在于，其中该反褶积运算包括由频域与时域互转的运算。
3.如权利要求1所述的动态量测干涉信号解析的方法，其特征在于，其中该反转换运算为反傅利叶转换运算。
4.如权利要求1所述的动态量测干涉信号解析的方法，其特征在于，其中还包括对该还原动态干涉信号进行三维轮廓重建，以求得该待测物的表面轮廓影像。
5.如权利要求1所述的动态量测干涉信号解析的方法，其特征在于，其中是配合一干涉量测装置而动态量测该待测物的动态特性与动态时的表面轮廓，且该干涉量测装置为Mirau式干涉仪、Michelson式干涉仪或Linnik式干涉仪。
6.一种动态量测干涉信号解析的方法，适用于量测一待测物于动态时的表面轮廓及该待测物的振动模态，其特征在于，该动态量测干涉信号解析的方法包括：
设定一频闪脉冲光束的相位；
自该待测物的表面轮廓撷取一动态干涉信号；
对该动态干涉信号进行一反褶积运算，以求得一还原动态干涉信号；
对该还原动态干涉信号进行三维轮廓重建，以求得该待测物的一表面轮廓影像；以及
改变该频闪脉冲光束的相位，再对待测物于振动中的其他相位进行测量。
7.如权利要求6所述的动态量测干涉信号解析的方法，其特征在于，其中该反褶积运算还包括由频域与时域互转的运算。
8.如权利要求6所述的动态量测干涉信号解析的方法，其特征在于，其中对该动态干涉信号进行该反褶积运算的步骤包括：
将该频闪脉冲光束的强度由时域转换为频域；
将该动态干涉信号由时域转换至频域；
于频域中，计算该动态干涉信号除以该频闪脉冲光束的强度；以及
对该动态干涉信号除以该频闪脉冲光束的强度的值进行由频域转为时域的一反转换运算以求得该还原动态干涉信号。
9.如权利要求8所述的动态量测干涉信号解析的方法，其特征在于，其中该反转换运算为反傅利叶转换运算。
10.如权利要求6所述的动态量测干涉信号解析的方法，其特征在于，其中是配合一干涉量测装置而动态量测该待测物的动态特性与动态时的表面轮廓，且该干涉量测装置为Mirau式干涉仪、Michelson式干涉仪或Linnik式干涉仪。
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