[发明专利]薄膜图案层制造方法及紫外光源装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种薄膜图案层制造方法及紫外光源装置。

背景技术

目前制造薄膜图案层的方法主要包括：光微影法及喷墨法。

光微影法：通过在预备涂敷所需薄膜的基板结构上，涂敫光阻材料，将 具有预定图案的光罩设于光阻材料上，进行曝光及显影，或加上蚀刻制程， 而形成具有预设图案的薄膜图案层。该光微影法需要复杂的制程，并且，材 料的使用效率较低而造成制造成本高。

喷墨法：此处以制备彩色滤光片为例说明，包括以下步骤：如图1(a)所 示，提供一基板42与设置于基板42上的多个分隔墙44，该多个分隔墙44限定 多个收容空间46，提供一紫外光线48，该紫外光线48垂直于所述分隔墙44的 顶部表面照射；如图1(b)、(c)所示，使用一喷墨装置50，由喷墨装置50上多 个喷墨孔52(此处以垂直于纸面的一列收容空间46用于形成同种颜色，该多个 喷墨孔52成一列设置，故图1中只看到其中的一个喷墨孔52)，将形成薄膜材 料的墨水54R、54G、54B喷入该多个收容空间46内(喷射不同颜色的墨水需 不同的喷墨孔，此处为便于说明，只画出其中一个)，墨水54R、54G、54B 被固化后于该基板42上形成预定的薄膜图案层，其中，墨水54R、54G、54B 分别为红、绿、蓝色墨水。由于提供的该基板42往往大于该多个喷墨孔52所 直接涵盖的面积，因此，喷墨装置50尚须提供该多个喷墨孔52与该基板42行 列相对运动，然后该喷墨法就能够一次形成薄膜图案层。由于制程大量简化， 材料使用经济，因此成本大幅降低。

图1(a)中的紫外光线48可以使空气中的新增臭氧或原有的臭氧分离出活 性氧，使表面上附着的较不亲水性的污染物质分解去除，而使基板表面与墨 水54R、54G、54B之间的润湿性提升；另外，当基板42或分隔墙44为有机系 材料时，紫外光线48还可以破坏有机材料表面的不饱和键，而使亲水性的官 能性加入，使其与墨水54R、54G、54B之间的润湿性更强。

由于该紫外光线48垂直于所述分隔墙44的顶部表面照射，使得分隔墙44 的顶部表面与墨水54R、54G、54B润湿性能较强，而分隔墙44的侧面与墨水 54R、54G、54B的润湿性能相对较弱。当某一收容空间42内的墨水喷出量过 大而使液面高出分隔墙44的顶部时，比如54R、54G的液面高出分隔墙44的顶 部，可能会因墨水54R、54G与分隔墙44的润湿性过强而使墨水54R沿着分隔 墙44顶部向与墨水54R相邻的墨水54G方向流动与墨水54G发生混色，影响所 述薄膜图案层的质量。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种可提高薄膜图案层质量的薄膜图案层制造方 法及紫外光源装置。

一种薄膜图案层制造方法，包括以下步骤：提供一基板，其表面具有多 个分隔墙，该多个分隔墙间形成多个收容空间，该收容空间排列于基板上； 提供一紫外光线，利用该紫外光线照射该多个分隔墙，该紫外光线的照射方 向与该分隔墙的顶部表面的夹角θ范围如下：5°＜θ＜80°；填充墨水至该多个收 容空间内；及固化墨水以形成薄膜图案层。

所述的薄膜图案层制造方法中该紫外光线与分隔墙顶部表面呈锐角夹 角地照射，可以使墨水与分隔墙顶部的润湿性能降低，减少了当某一收容空 间内的墨水溢出至分隔墙顶部时向与该收容空间相邻的另一收容空间流动的 趋势，从而减少相邻收容空间内墨水的混色，提高薄膜图案层的质量。

附图说明

图1是现有技术的一种薄膜图案层制造方法的流程示意图。

图2(a)至图2(f)是本发明第一实施例提供的一种薄膜图案层制造方法的 示意图。

图3是根据图2所示的分隔墙的制造方法另一实施方式的截面示意图。

图4与图6是形成图2(d)所示的与分隔墙成一角度的紫外光线的紫外光源 装置三种实施方式的截面示意图。

图7是根据图2所示的薄膜图案层制造方法所制造的薄膜图案层的截面 示意图。

图8是本发明第二实施例提供的一种基板结构的截面示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明实施例作进一步的详细说明。

请一并参阅图2(a)至图2(f)，本发明第一实施例提供一种薄膜图案层制造 方法。所述薄膜图案层制造方法包括以下步骤：