[发明专利]减薄抛光用的精密磨抛头机械装置无效
申请号: | 200710064694.5 | 申请日: | 2007-03-23 |
公开(公告)号: | CN101269478A | 公开(公告)日: | 2008-09-24 |
发明(设计)人: | 刘素平;马骁宇;王俊;李伟 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | B24B41/047 | 分类号: | B24B41/047;B24B29/02;H01L21/304 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 抛光 精密 磨抛头 机械 装置 | ||
1. 一种减薄抛光用的精密磨抛头机械装置,其特征在于,包括:
一外套,该外套包括:
一上层环体;
一下层环体,该上层环体和下层环体之间由多个连接杆固定连接;
一中层,该中层为圆形片体,该中层位于上层环体的下方、固定在多个连接杆的内侧,该中层中间的位置安装有一限位器;
一内套,该内套包括:
一上连接件,该上连接件为一圆盘型;
一底座,该底座为一圆盘型,该底座的中心处开有一孔,该底座和上连接件之间由多个连接柱固定连接;
该内套位于外套的内部,并与外套联动;
一载物片,该载物片为一片体,该载物片位于内套中的底座的下方,并与内套中的底座联动。
2. 根据权利要求1所述的减薄抛光用的精密磨抛头机械装置,其特征在于,其中所述的外套中的多个连接杆的数量为3-5个,且该连接杆为均匀分布重量相同。
3. 根据权利要求1所述的减薄抛光用的精密磨抛头机械装置,其特征在于,其中所述的外套为一体加工制作。
4. 根据权利要求1所述的减薄抛光用的精密磨抛头机械装置,其特征在于,其中所述的内套中的多个连接柱的数量为3-5个,且该连接柱为均匀分布重量相同。
5. 根据权利要求1所述的减薄抛光用的精密磨抛头机械装置,其特征在于,其中所述的外套中的下层环体的下边缘处开有多个均匀分布的形状相同的豁口。
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