[发明专利]大型石英芯棒母材制造装置无效
申请号: | 200710042546.3 | 申请日: | 2007-06-21 |
公开(公告)号: | CN101328011A | 公开(公告)日: | 2008-12-24 |
发明(设计)人: | 高安敏;肖华;顾志华;陈进 | 申请(专利权)人: | 江苏亨通光纤科技有限公司;江苏亨通光电股份有限公司 |
主分类号: | C03B37/012 | 分类号: | C03B37/012 |
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地址: | 215200江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 大型 石英 芯棒母材 制造 装置 | ||
技术领域
本发明涉及光纤制造领域的石英芯棒母材制造装置,尤其是大型石英芯棒母材制造装置。
背景技术
目前制造石英光纤芯棒母材主要采用轴向气相沉积法即VAD法,是在一个封闭的石英反应容器内进行的。制造大型石英芯棒母材就必须具备大尺寸的石英反应容器,而这种大尺寸的石英反应容器的加工难度较大;而且制造大型石英芯棒母材在生产过程中沉积温度高,大尺寸石英反应容器在高的喷枪温度冲击下容易开裂。
另外,由于芯棒母材沉积过程中喷枪火焰气流向上流动,反应容器内气流紊乱,带动部分未沉积到母材上的石英粒子上升,沉积到反应容器侧壁上,落下后使母材产生缺陷。
发明内容
本发明的目的是提供一种坚固耐用、生产过程中容器内未沉积到母材上的石英粒子能够及时排出反应容器从而保证芯棒母材质量的大型石英芯棒母材制造装置。
本发明提供的大型石英芯棒母材制造装置包括上方设有悬挂靶棒的提升机构的反应容器,反应容器下方具有芯层喷枪和包层喷枪,反应容器一侧面设有连接排风机的排气口,反应容器为金属长方体,容器顶部设置具有气体导入孔的上部气体导入装置,在与容器排气口相对的侧面设置水平气体导入装置,其气体出口处于两喷枪的上方且对准排气口,水平气体导入装置内设置由多层平板构成的平板整流器。
为使经过水平气体导入装置内的平板整流器的导入气体的气流避开喷灯,使气流从母材前后侧流过反应容器后经排气口排出,在水平气体导入装置内设置垂直于平板整流器的平板的楔形气体导向装置。
本发明的有益效果是:采用金属反应容器,不仅容器制作简单,而且可防止由于生产大型芯棒母材时沉积温度高、火焰对容器的温度冲击大导致容器开裂的现象;采用设有平板整流器的水平气体导入装置,可使进入反应容器的气流呈水平层流状态,消除反应容器的气流紊乱现象,使沉积稳定,同时将未沉积到母材上的石英粒子在最短的时间内带到排气口排出反应容器;从反应容器的上部气体导入装置导入的气流,可防止喷枪火焰气流向上流动,从而减少石英粒子落到反应容器的侧壁上,进而防止侧壁上的石英粒子再落下使母材产生缺陷,提高母材质量。
附图说明
图1是本发明的示意图,图2是图1中X-X向放大示意图,图3是图1中Y-Y向放大示意图。
在图1、图2、图3中,1.靶棒,2.上部气体导入装置,3.反应容器,4.芯棒母材,5.水平气体导入装置,6.包层喷灯,7.芯层喷灯,8.排气口,9.上部气体导入装置的气体导入孔,10.提升装置;51、55.导入气体出口,52.气体导向装置,53.气体过滤器,54.鼓风机送风口,56.平板整流器。
具体实施方式
参照图1、图2、图3,本发明的反应容器3采用耐腐蚀的金属材料加工成长方体形状,排气口8的管道也采用耐腐蚀金属材料制成,水平气体导入装置5连接鼓风机送风口54,水平气体导入装置5内设置气体过滤器53、平板整流器56、气体导向装置52、导入气体出口51、55。气体整流器由多层平板构成,平板间距相等。气体导向装置52垂直于平板整流器56的平板,制成楔形,按导入气体流动方向由窄到宽。上部气体导入装置2设于反应容器3的顶部,其侧面设有气体导入孔9。
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