[发明专利]一种用TiCl4真空辉光放电制备金属钛的装置及方法有效
| 申请号： | 200710018821.8 | 申请日： | 2007-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN101139662A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 李争显;杜继红;王少鹏;黄春良;骆瑞雪;高广睿;王宝云;李晴宇;姬寿长;杨升红;徐海龙;严鹏;陈玉斌;唐勇 | 申请（专利权）人： | 西北有色金属研究院 |
| 主分类号： | C22B34/12 | 分类号： | C22B34/12;C01B7/03 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 71001*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 ticl sub 真空 辉光 放电 制备 金属 装置 方法 | ||
1.一种用TiCl4真空辉光放电制备金属钛的装置，其特征在于该装置包括一真空室(3)，所述真空室(3)的顶部通过汽化管道(5)与气体流量控制器(10)和TiCl4汽化装置(4)连通，其底部通过氯气管道(6)与气体收集器(8)连通，真空室(3)内安装有与真空室(3)绝缘的收集极(1)和阳极(2)，电源(9)分别与收集极(1)和阳极(2)连接并给收集极(1)提供负电压。
2.根据权利要求1所述的一种用TiCl4真空辉光放电制备金属钛的装置，其特征在于：所述电源(9)为直流稳压电源，其电压在5000-500V范围内可调。
3.根据权利要求1所述的一种用TiCl4真空辉光放电制备金属钛的装置，其特征在于：所述收集极(1)呈海绵状，由纯钛制成。
4.一种利用如权利要求1所述装置制备金属钛的方法，其特征在于：该方法为：将在汽化装置(4)中汽化的工业纯TiCl4，通过气体流量控制器和汽化管道(5)通入到真空室(3)中，控制TiCl4的压力在1000Pa～5×10-2Pa范围内，给与真空室(3)绝缘的收集极(1)通过直流电源(9)施加5000～500V的负电压，收集极(1)和与真空室(3)绝缘的阳极(2)产生气体电离，在两个电极的区域(7)内形成辉光等离子体，在电场的作用下，TiCl4气体电离产生的等离子体中的钛阳离子沉积到收集极(1)表面，放电产生的氯气通过氯气管道(6)被气体收集器(8)吸收并储存。
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