[发明专利]晶体生长籽晶固定装置无效
申请号: | 200710014851.1 | 申请日: | 2007-08-30 |
公开(公告)号: | CN101109104A | 公开(公告)日: | 2008-01-23 |
发明(设计)人: | 张晓阳;秦晓燕;黄柏标;段爱东 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B35/00 |
代理公司: | 济南圣达专利商标事务所 | 代理人: | 王书刚 |
地址: | 250100山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶体生长 籽晶 固定 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种晶体生长中籽晶的固定装置,属于晶体生长设备技术领域。
背景技术
传统的晶体生长都是在生长炉进行,是将籽晶固定在籽晶杆下部籽晶板的底面上,将籽晶引入生长炉,生长炉中加入有饱和生长液,饱和生长液以一定的降温速度逐步降温,同时籽晶杆以一定的速度旋转,从而使得析出的溶质结晶在籽晶上,晶体逐步长大。待晶体长到所需尺寸或者溶液温度降至室温时,将晶体提离液面。这样的生长方式,使固定在籽晶板底面上的籽晶向下生长,生长后的晶体仅靠几个固定点固定在籽晶板上,随着晶体的生长,其重量越来越大。当晶体处于生长炉中时,在生长液的浮力作用下,晶体尚能完好的固定在籽晶板上。但是当晶体生长完毕后提出生长炉时,失去浮力的作用,晶体自身的重量使得其在固定点处的局部应力增大,容易导致晶体内部开裂及与籽晶板脱落等,使生长完好的晶体功亏一篑。
发明内容
本发明针对现有晶体生长过程中籽晶固定技术存在的不足,提供一种结构简单、合理,保证晶体生长质量的晶体生长籽晶固定装置。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的:
该晶体生长籽晶固定装置包括籽晶板、吊杆、连接架和籽晶杆,连接架安装在籽晶杆的下端,吊杆至少有一根,其上端与连接架连接,籽晶板连接在各吊杆的下端。吊杆数量以3-8根为宜。吊杆与籽晶板为可拆卸连接。
籽晶板的外形根据需要设计,可以是圆形、正方型或多边形。
吊杆上安装有搅拌桨,可以对生长炉中的生长液进行搅拌,使生长液的温度和溶液浓度分布更加均匀,利于晶体生长,保证晶体生长质量。搅拌桨指向籽晶板外部,不影响籽晶板上晶体的生长。
使用时,籽晶平放在籽晶板的上面,用螺栓将籽晶固定在籽晶板上。生长过程中由于籽晶板的限制,晶体只能向上生长。晶体的重量均匀的落在籽晶板上,因此减少了由于重力带来的应力。提出生长炉时,将整个籽晶板吊出,吊出过程中,由于晶体的重量均匀落在籽晶板上,因此避免了晶体与籽晶板脱落。晶体生长结束后,只需拆下籽晶板上的吊杆,在切割加工前不需要与籽晶板分离,方便提出生长炉后的晶体运输与加工。
本发明结构简单、合理,改变了现有晶体生长过程中将籽晶固定在籽晶板底面上的方式,而是将籽晶固定在籽晶板的上面,使晶体生长过程受籽晶板的限制只能向上生长,避免了晶体与籽晶板脱落,减少了由于重力带来的应力,防止了晶体内部开裂,保证了生长过程中及生长结束后的晶体质量。
附图说明
附图是本发明的结构示意图。
其中:1、籽晶杆,2、连接架,3、螺钉,4、吊杆,5、搅拌桨,6、螺钉,7、生长炉,8、籽晶,9、籽晶板。
具体实施方式
实施例:
如附图所示,本发明的晶体生长籽晶固定装置由籽晶板9、吊杆4、连接架2、和籽晶杆1组成。连接架2呈十字形,其中心通过螺钉固定安装在籽晶杆1的下端。十字形连接架2的四个伸出端上通过螺钉3分别安装有一个吊杆4。籽晶板9固定连接在每个吊杆的下端。籽晶板9的外形根据需要设计,可以是圆形、正方型或多边形。在四个吊杆上可根据需要安装数个搅拌桨5,搅拌桨5通过螺钉6固定在吊杆上。搅拌桨5指向籽晶板9的外部,不影响籽晶板9上晶体的生长。吊杆4与其上面的搅拌桨5是可拆卸轴套连接,当松开固定螺钉6后即可取下搅拌桨,以方便吊杆4的拆卸。籽晶杆1旋转时,带动搅拌桨5转动,可以使生长炉7中的晶体生长溶液始终处于搅拌状态,温度和溶液浓度分布更加均匀,利于晶体生长,保证晶体的生长质量。
本发明中的吊杆4与籽晶板9以螺纹相连,与连接架2用螺丝固定,当吊杆4与连接架2分离后,吊杆4可直接从籽晶板9上拧下。晶体生长结束后,只需拆下籽晶板9上的吊杆4,在切割加工前不需要与籽晶板9分离,方便提出生长炉7后的晶体运输与加工。
使用时,籽晶8平放在籽晶板9上,用螺栓将籽晶8固定在籽晶板9上。籽晶杆1与旋转电机相连。生长过程中由于籽晶板9的限制,晶体只能向上生长。晶体的重量均匀的落在籽晶板9上,因此减少了由于重力带来的应力。晶体生长完毕提出生长炉7时,将整个籽晶板9吊出,吊出过程中,由于晶体的重量均匀落在籽晶板9上,因此避免了晶体与籽晶板脱落。在晶体生长过程中,晶体的重力由籽晶板9的上平面支撑,解决了传统固定方法因为晶体向下生长,靠几个固定点支撑晶体重力,而带来的晶体应力大、易破裂、不易出槽等缺点,同时不存在籽晶板9转动下驱动密封难的问题。
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