[发明专利]基板蚀刻设备和方法

说明书

技术领域

本发明涉及蚀刻基板的设备和方法。更具体而言，本发明涉及以均匀厚 度蚀刻基板的设备和方法。

背景技术

通常，液晶显示(LCD)设备包括LCD屏板，LCD屏板具有薄膜晶体 管(TFT)基板、面对TFT基板的滤色器基板以及设置于TFT基板和滤色 器基板之间的液晶层。

近来，随着对诸如移动终端、多媒体播放器、膝上型计算机等的移动电 子设备的需求的增大，LCD设备因其重量轻变得越来越普及。

在LCD设备中，诸如TFT基板和滤色器基板的玻璃基板的重量在LCD 设备的重量中占一大部分。因此，通常采用蚀刻设备降低玻璃基板的厚度， 以降低LCD设备的重量。

但是，在采用常规蚀刻设备蚀刻基板时，将产生杂质，因而无法对基板 进行均匀蚀刻。

发明内容

本发明提供了一种通过向玻璃基板上喷注气泡而实现对基板的均匀蚀 刻的设备。

本发明还提供了一种利用所述设备蚀刻基板的方法。

在根据本发明的示范性基板蚀刻设备中，所述设备包括蚀刻容器、多个 气泡注入器和气体供应部分。所述蚀刻容器容纳多个玻璃基板，使所述玻璃 基板在所述蚀刻容器中垂直于所述蚀刻容器的底面设置并相互平行。每一所 述气泡注入器插置于每一所述玻璃基板之间，用于向所述玻璃基板上注入气 泡。所述气体供应部分设置于所述蚀刻容器外部，用于向所述气泡注入器提 供气体。

每一所述气泡注入器包括：注入板，其具有形成于所述注入板内的气体 通路；以及多个注入喷嘴，其形成于所述注入板的表面上并连接至所述气体 通路，所述表面面对所述玻璃基板中的一个。在所述注入板上以点阵结构形 成所述注入喷嘴。

所述设备还包括：固定板，其设置于所述蚀刻容器的内部，并具有形成 于其上的固定夹。所述固定夹固定玻璃基板。所述固定板包括连接所述气体 供应部分和每一所述气泡注入器的所述气体通路的气体注入孔。

每一所述气泡注入器包括：框架，其具有形成于所述框架的中央部分的 开口部分；第一通管，其设置于所述框架内并连接至所述气体供应部分；以 及第二通管，其以固定间隔垂直连接至所述第一通管，从而沿横向遍布所述 开口，所述第二通管具有对应于面对所述玻璃基板之一的表面形成的多个注 入孔。在所述第二通管上以固定间隔形成所述注入孔。

以蚀刻液体填充所述蚀刻容器，所述蚀刻容器可以包括氢氟酸(HF)。 所述气泡注入器可以包括聚氯乙烯(PVC)。

在根据本发明的另一示范性基板蚀刻设备中，所述设备包括蚀刻容器、 气泡注入管和气体供应部分。所述蚀刻容器容纳多个玻璃基板，使所述玻璃 基板在所述蚀刻容器中垂直于所述蚀刻容器的底面设置并相互平行。所述气 泡注入管沿垂直于所述玻璃基板的方向纵长形成，并设置于所述玻璃基板的 一侧，用于向所述玻璃基板上注入气泡。气体供应部分设置于所述蚀刻容器 外部，用于向所述气泡注入管提供气体。

所述气泡注入管设置于所述玻璃基板的一侧，用于向所述玻璃基板上注 入气泡。

所述气泡注入管包括多个注入孔，面对所述玻璃基板的所述侧面以固定 间隔形成所述注入孔。

所述设备还包括：移动装置，用于沿所述玻璃基板的所述侧面移动所述 气泡注入管。所述移动装置包括：泵缸，其设置于所述蚀刻容器的外侧；泵 缸负载，其与所述泵缸结合，并沿所述玻璃基板的所述侧面移动。用于将所 述泵缸负载与所述气泡注入管相连接的连接部分；以及引导部分，其部分覆 盖所述连接部分并引导所述气泡注入管的运动。以气压型和油压型中的至少 一种驱动所述泵缸。

所述设备还包括：多个气泡注入器，将每一所述气泡注入器插置于每一 所述玻璃基板之间，从而向所述玻璃基板上注入气泡。

在根据本发明的示范性基板蚀刻方法中，所述方法包括：垂直于蚀刻容 器的底面放置多个玻璃基板，所述玻璃基板相互平行设置；将多个气泡注入 器中的每一个放置为插置在每一所述玻璃基板之间；由设置于所述蚀刻容器 的外部的气体供应部分向所述气泡注入器提供气体；以及利用所述气泡注入 器向所述玻璃基板上注入气泡，以清除杂质。

每一气泡注入器通过多个注入喷嘴喷注气泡，所述多个注入喷嘴形成于 面对所述玻璃基板之一的注入板表面上，所述注入板具有位于所述注入板内 部的气体通路。将所述气体通路连接至所述气体供应部分。