[发明专利]隔壁形成方法和隔壁形成装置

说明书

技术领域

本发明涉及等离子体显示面板(以下称为PDP)的制造方法和制造装置，特别涉及PDP的隔壁形成方法和隔壁形成装置。

背景技术

一般而言，PDP采用在两个相对的玻璃基板上设置多个电极，并在其间封入以Ne、Xe等为主体的气体的结构。而且，通过在划分出放电单元的多个电极间施加电压并产生放电，使各单元发光并进行显示。

PDP的一个基板具有寻址电极、隔壁和荧光体层并构成背面基板。作为这样的背面基板中的隔壁的形成方法，在覆盖玻璃基板上的寻址电极的电介质层表面上以规定的厚度涂敷玻璃浆料(隔壁形成材料)并使其干燥，在其上将具有耐喷砂性的掩模形成为图案状。然后，采用以下方法：通过隔着该掩模进行喷砂加工而切削隔壁形成材料层，在图案形成期望形状的隔壁后进行烧制。

而且，在喷砂加工中，作为切削材料使用粒径为2～50μm左右的玻璃珠、不锈钢、SiC、SiO₂、Al₂O₃、ZrO₂等无机微粒子。

而且，为了防止因隔壁端部的底部部分被过度切削、即侧面切削(side cut)而发生抗蚀膜的剥落、隔壁的破损、隔壁的切削高度的减少等，已知有在隔壁端部的附近设置用于形成辅助隔壁的辅助掩模而进行喷砂处理的方案(例如，参照WO2002/084689号公报)。

发明内容

但是，在这样的现有技术中，因为不能够防止辅助隔壁的过度切削，所以存在难以可靠地保护主隔壁的端部部分的问题。

本发明提供一种隔壁形成方法，其为通过切削材料对形成在基板上的隔壁形成材料层的没有设置耐喷砂用掩模的部分进行切削，形成期望的形状的隔壁的等离子体显示面板的隔壁形成方法，其特征在于：在上述基板的期望部分的上方，以与隔壁形成材料层的表面或基板的表面接触的方式垂直地设置沿基板的搬送方向延伸的规定高度的保护板，保护隔壁形成材料层的期望部分，以免受到从在与基板搬送方向正交的方向上移动的喷砂加工用喷嘴喷射出的切削材料的切削。

保护板与隔壁形成材料层或基板滑动接触的部分，也可以由比基板硬度低的材料形成。

也可以通过将保护板更换为宽度不同的其他保护板而控制切削作用。

此外，本发明的另一观点是一种隔壁形成装置，其通过切削材料对形成在基板上的隔壁形成材料层的没有设置耐喷砂用掩模的部分进行切削，形成期望的形状的隔壁，该隔壁形成装置包括：将设置有隔壁形成材料层和耐喷砂用掩模的基板沿规定的方向搬送的基板搬送装置；喷射切削材料的喷砂加工用喷嘴；将该喷嘴沿着与基板搬送方向正交的方向搬送的喷嘴搬送装置；和在搬送的基板的期望部分，在喷砂加工用头与基板之间以与隔壁形成材料层的表面或基板的表面接触的方式垂直设置、并且沿着基板的搬送方向延伸的规定高度的保护板。

还设置有支承保护板的支承部件，保护板也可以是平坦带状的本体部件、相对于喷砂加工的切削作用保护本体部件的耐磨损性部件、和具有比基板更低的硬度且与隔壁形成材料层表面或基板表面接触的滑动接触部件。

支承部件也可以以能够将保护板更换为宽度不同的其他保护板的方式对该保护板进行支承。

支承部件也可以以能够在喷砂加工用喷嘴的搬送方向上移位的方式对该保护板进行支承。

根据本发明，因为在保护板与容易受到切削损伤的基板的期望部分垂直接触的状态下进行喷砂加工，所以能够可靠地防止切削材料引起的损伤、抗蚀膜的剥落、隔壁的破损等的发生。

附图说明

图1是本发明涉及的PDP的主要部分的分解立体图。

图2是本发明涉及的被加工基板的截面图。

图3是本发明涉及的喷砂加工室的纵截面图。

图4是图3的I—I向看截面图。

图5是本发明涉及的保护板的俯视图。

图6是本发明涉及的保护板的侧面图。

图7是图6的II—II向看截面图。

图8是图6的III—III向看截面图。

图9是图4的主要部分放大图。

图10是表示本发明的变形例的与图4对应的图。

图11是表示本发明的另一变形例的与图4对应的图。

图12是表示本发明的又一变形例的与图4对应的图。

图13是表示本发明的又一变形例的与图4对应的图。

图14是表示本发明的保护板的作用的说明图。

符号的说明

11、12 玻璃基板

31 隔壁形成材料层

32 耐喷砂用掩模

32a 主隔壁用掩模