[发明专利]照明光学装置及光学装置有效
申请号: | 200680003129.1 | 申请日: | 2006-01-25 |
公开(公告)号: | CN101107572A | 公开(公告)日: | 2008-01-16 |
发明(设计)人: | 水泽圣幸 | 申请(专利权)人: | 奥林巴斯株式会社 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐敏刚;党晓林 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 照明 光学 装置 | ||
1.一种照明光学装置,该照明光学装置包括:
发光部;
透镜系统,该透镜系统用于将从所述发光部发出的发散光束转变成平行光束;
无焦光学系统,该无焦光学系统用于调节通过所述透镜系统获得的所述平行光束的截面面积;
复眼透镜,该复眼透镜用于从截面面积被所述无焦光学系统调节的所述平行光形成多个光源图像;以及
柯勒照明光学系统,该柯勒照明光学系统使用通过所述复眼透镜形成的所述多个光源图像作为光源。
2.根据权利要求1所述的照明光学装置,其中,满足条件表达式0.25<β<2,其中β=D1/D2,其中D1为通过所述透镜系统获得的所述平行光刚通过所述无焦光学系统后测量的光束直径,而D2为在该平行光即将入射到所述无焦光学系统上之前的光束系。
3.根据权利要求1所述的照明光学装置,其中,所述无焦光学系统包括靠近所述发光部布置的第一组和靠近所述复眼透镜布置的第二组,并且
所述第一组在所述第一组和所述第二组之间形成所述发光部的图像。
4.根据权利要求3所述的照明光学装置,其中,所述无焦光学系统可以在所述第一组和所述第二组之间分开。
5.根据权利要求1所述的照明光学装置,其中,所述无焦光学系统包括对通过所述透镜系统获得的所述平行光束的截面面积进行调节的功能。
6.根据权利要求1所述的照明光学装置,其中,多个所述发光部布置成使其光轴彼此平行,并且
所述透镜系统是一透镜阵列,该透镜阵列包括与所述多个发光部中的各发光部相对应的透镜元件,以通过相应的透镜元件将从所述发光部中的各发光部发出的光转变成平行光。
7.根据权利要求6所述的照明光学装置,其中,成立KF>4KS,其中KS是透镜元件的数量,而KF是组成所述复眼透镜的组成透镜的数量。
8.根据权利要求6所述的照明光学装置,其中,所述发光部和所述透镜元件布置在垂直于所述无焦光学系统的光轴的平面上,使得它们的各光轴平行于所述无焦光学系统的光轴。
9.根据权利要求6所述的照明光学装置,其中,所述多个发光部构造成发出具有相同波长的光束。
10.根据权利要求1所述的照明光学装置,其中,所述无焦光学系统和所述复眼透镜是可替换的。
11.一种光学装置,该光学装置包括根据权利要求1所述的照明光学装置。
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