[实用新型]一种用于高灵敏氦质谱检漏仪的聚焦离子源无效
申请号: | 200620172514.6 | 申请日: | 2006-12-22 |
公开(公告)号: | CN201075369Y | 公开(公告)日: | 2008-06-18 |
发明(设计)人: | 付德君;黎明;刘家瑞;刘传胜 | 申请(专利权)人: | 武汉大学 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10 |
代理公司: | 武汉华旭知识产权事务所 | 代理人: | 江钊芳 |
地址: | 43007*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 灵敏 氦质谱 检漏 聚焦 离子源 | ||
【权利要求书】:
1.一种用于高灵敏氦质谱检漏仪的聚焦离子源,由检漏口①、发射针腔②、钨针③、引出极⑤、聚焦极⑥和电路系统⑦组成,其特征在于钨针③直径为0.45~0.55mm,钨针的尖端直径为5~10μm,钨针尖上还有纳米针尖④,钨针置于发射针腔②中,发射针腔与检漏口相连,纳米针尖接正偏压、引出极接负电压。
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