[实用新型]一种双等离子体处理工业废气的装置

权利要求书

1.一种双等离子体处理工业废气的装置，其特征在于由外层介质(1)、中间层介质(2)、内层介质(3)、外电极(4)、内电极(5)、高压电源及支撑件(8)组成；其中，外层介质(1)、中间层介质(2)和内层介质(3)分别采用直径不同的石英管，使外层介质(1)和中间层介质(2)间形成常压气体放电区，中间介质层(2)与内层介质层(3)之间形成低压气体紫外辐射区；内电极(5)置于内层介质(3)中，外电极(4)缠绕于外层介质(1)外侧；支撑件(8)支撑于外层介质(1)和中间层介质(2)之间。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于外层介质(1)为内径33mm的石英管，壁厚1.5mm，管长200mm；中间层介质(2)为内径20mm的石英管，管长200mm，壁厚1.5mm；最内层介质3为外径10mm的石英管，管长200mm，壁厚1.0mm。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于外电极(4)由长×宽×厚＝670mm×4mm×0.4mm的细长不锈钢片缠绕于外层石英管壁而成，圈与圈之间的距离为4mm，内电极(5)用长×宽×厚＝200mm×40mm×0.2mm不锈钢片卷制而成，内衬在内层石英管内管壁。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于外层与中间层的石英管之间的支撑件(8)材质为聚四氟塑料，形状为带有(3)支撑脚的圆环形。