[发明专利]基于膜片挠度的光纤压强传感器无效
申请号: | 200610165533.0 | 申请日: | 2006-12-21 |
公开(公告)号: | CN101206150A | 公开(公告)日: | 2008-06-25 |
发明(设计)人: | 张文涛;李芳;刘育梁 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01L1/24 | 分类号: | G01L1/24;G01L11/02;G01L19/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 膜片 挠度 光纤 压强 传感器 | ||
1.一种膜片式光纤压强传感器,其特征在于,包括:
一支撑筒,该支撑筒的下端为用于感受压强的膜片,其侧壁开有两圆孔;
一光纤光栅,该光纤光栅安装于支撑筒内,其两端穿过支撑筒侧壁的两圆孔,用于测量压强;
一端盖,该端盖安装在支撑筒的上端,以密封该支撑筒;
一杠杆,该杠杆概似一L形,该杠杆通过一轴平行于光纤光栅安装于支撑筒内部的中间,该杠杆的端与膜片的中心点接触,该杠杆的另一端有一凸起,该杠杆用于传递压强。
2.根据权利要求1所述的膜片式光纤压强传感器,其特征在于,其中所述的杠杆上开有一小孔,该小孔与支撑筒的侧壁之间安装有一弹簧,该弹簧用以使杠杆复位。
3.根据权利要求1所述的膜片式光纤压强传感器,其特征在于,其中所述支撑筒侧壁上的两圆孔上分别进一步分别安装圆柱型接头,该光纤光栅的尾纤穿过该圆柱型接头。
4.根据权利要求1所述的膜片式光纤压强传感器,其特征在于,其中所述的杠杆的一端与膜片中心点接触处的弧线部分的外轮廓线为阿基米德螺线。
5.根据权利要求1所述的膜片式光纤压强传感器,其特征在于,其中所述的杠杆的另一端的凸起,用于固定光纤光栅。
6.根据权利要求1所述的膜片式光纤压强传感器,其特征在于,其中所述支撑筒与端盖联接处以及圆柱型接头内涂有高强度密封胶,使支撑筒内部构成密闭的空气腔。
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