[发明专利]用于制造集成电路器件的方法和系统无效
| 申请号： | 200610135747.3 | 申请日： | 2006-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN1952787A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 斯科特·J·布科夫斯基;科林·J·布罗德斯基;史蒂文·J·霍姆斯;伯恩哈德·R·利格尔 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 张维;胡亚莉 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 制造 集成电路 器件 方法 系统 | ||
【说明书】：
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