[发明专利]气体激光器振荡器

说明书

技术领域

本发明涉及一种气体激光器振荡器的箱体构造，特别是涉及一种正交激励型气体激光器振荡器。

背景技术

在已有技术的正交激励型气体激光器振荡器中，具有封入了CO₂气体等激光器介质气体的密闭构造的振荡器箱体，在振荡器箱体内设有激光器介质气体放电激励用的放电电极、对激光器介质气体进行冷却的热交换器、及使激光器介质气体循环的送风器。另外，在振荡器箱体的两端配置有构成气体激光器共振器的反射镜光学系统。在CO₂气体激光器等气体激光器的连续振荡中，为了将发射激光的气体分子激励(泵激)到受激发射所需要的能级，一般使用由放电时的电子碰撞激励的放电激励。在该场合，为了获得稳定的放电，需要使振荡器箱体内部为30～60torr的真空状态，所以，气体激光器振荡器的振荡器箱体需要具有可保持真空状态的气密性能。

另外，由于需要定期地对配置于振荡器箱体内部的放电电极、热交换器、送风机、及反射镜光学系统等进行维护，所以，需要使得维护作业者可容易地从振荡器箱体的外部接近。为此，在振荡器箱体设有较宽的开口部，安装有可用于闭塞开口部的可拆卸的盖构件。

气体激光器振荡器的盖构件需要承受使振荡器箱体内部为真空状态时的负荷，保持能够维持真空状态的气密性能，而且使得可容易地维护振荡器箱体的内部设备地扩大外形面积。作为盖构件，使用平板形状的盖构件(例如参照专利文献1)。另外，为了提高盖构件的强度，通过在与盖构件的面垂直的方向设置多个加强构件(肋)，从而抑制盖构件的变形(例如参照专利文献2)。另外，通过在长方体的耐压箱体的1个面设置倾斜部，从而分散应力，形成为抑制箱体的侧面板构件的变形的构造，从而减小对盖构件的负荷(例如参照专利文献3)。

[专利文献1]

日本特开2003-318467号公报(第4页，图1)

[专利文献2]

日本特开平10-2418号公报(第3页，图1～3)

[专利文献3]

日本特开2002-245905号公报(第2～3页，图1)

对于已有技术的气体激光器振荡器，在如专利文献1那样将盖构件形成为平板的场合，需要可承受对振荡器箱体内部进行减压时发生的应力地增大盖构件的平板板厚。在该场合，当考虑到维护性时，最好作业者可按2人左右安装、拆卸盖构件。然而，由于盖构件的重量变大，所以，存在难以安装、拆卸盖构件的问题。为此，也可使用铝等具有强度的轻质材料形成盖构件。然而，这些轻质材料存在一般比钢铁材料昂贵的问题。

另外，在如专利文献2那样设置加强构件使盖构件的强度提高的场合，即使使用钢铁等廉价的材料，也可减小盖构件的板厚，减轻盖构件的重量。然而，需要通过焊接、螺钉固定等相对盖构件固定加强构件，所以，存在盖构件的制造工序复杂、制造费用高的问题。另外，在如专利文献3那样相对盖构件设置倾斜部的场合，由于成为与振荡器箱体凸缘的接合面的盖构件的接合面需要是平面形状的，所以，如不使用焊接多个构件的制造方法，则难以进行制作。

发明内容

本发明就是为了解决上述那样的问题而作出的，其目的在于获得一种气体激光器振荡器，该气体激光器振荡器可缓和振荡器箱体的真空状态时的应力，具有用于维护的面积大、容易制造的盖构件。

本发明的气体激光器振荡器具有箱体和闭塞箱体的开口部的盖构件；其特征在于：盖构件具有曲面部和侧壁；该曲面部朝箱体的内部侧或外部侧隆起；该侧壁形成于盖构件的端边，朝箱体的内部侧或外部侧突出。

本发明的气体激光器振荡器由于具有曲面部和侧壁，该曲面部朝箱体的内部侧或外部侧隆起，该侧壁形成于盖构件的端边并朝箱体的内部侧或外部侧突出，所以，在减压时作用于盖构件的应力均匀地分散，即使减小盖构件的板厚，增大盖构件的面积，也可缓和振荡器箱体在真空状态时的应力。另外，可容易地制造盖构件。

附图说明

图1为示出本发明实施形式1的气体激光器振荡器的整体构成的透视图。

图2为本发明实施形式1的盖构件的外形图。

图3为本发明实施形式1的圆顶形状部的截面图。

图4为本发明实施形式1的三角形凸构造部的截面图。

图5为示出盖构件的板厚与应力值和位移量的关系的曲线图。

图6为示出不形成三角形凸构造部的场合的应力集中部的概念图。

图7为示出形成本发明实施形式1的三角形凸构造部的场合的应力集中部的概念图。