[发明专利]气体流量校准的方法有效
| 申请号： | 200610114417.6 | 申请日： | 2006-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN101178327A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 苏晓峰 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00;G05D7/06;H01L21/00;G12B13/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 流量 校准 方法 | ||
1.一种气体流量校准的方法，用于对反应室的供气系统的气体流量进行校验，所述供气系统的供气管路上设有气体流量控制装置MFC，其特征在于，包括以下步骤：
A、所述供气系统新安装MFC时，首先测定系统的固有误差Es，所述新安装的MFC的流量误差Em＝0，测定的方法是：
通过新安装MFC的供气管路向反应室供气，测定供气管路与反应室内气体参数的变化，通过理想气体状态方程PV＝nRT计算气体的流量Qv；将Qv与MFC的设定流量值Qs比较，得出MFC的误差
由公式E＝Es+Em 可求系统的固有误差Es＝E；
B、MFC用过一段时间后，测定MFC的流量误差Em，测定的方法是：
通过装有需测定的MFC的供气管路向反应室供气，测定供气管路与反应室内气体参数的变化，通过理想气体状态方程PV＝nRT计算气体的流量Qv；
将Qv与MFC的设定流量值Qs比较，得出MFC的误差
由公式E＝Es+Em 可求MFC的流量误差Em＝E-Es；
C、将Em的值与限定的容错值比较，当Em的值超过限定的容错值时，系统报警。
2.根据权利要求1所述的气体流量校准的方法，其特征在于，所述的步骤A中，通过理想气体状态方程PV＝nRT的等效式：
Q＝79＊[273/(273+Tc)]＊[(Vc+Vg＊(273+Tc)/(273+Tg))＊ΔP/Δt]计算气体的流量Qv＝Q；
其中，Vc-反应室体积、Vg-供气管路体积、Tc-反应室温度、Tg-供气管路温度、ΔP为Δt时间内反应室的气体压强变化值。
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