[发明专利]光刻装置、污染物收集器和器件制造方法无效
| 申请号： | 200610103121.4 | 申请日： | 2006-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN1892441A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | L·A·斯杰梅诺克;V·Y·巴尼内;J·J·史米特斯;L·A·范登维尔登波格;A·A·施米特;A·C·瓦辛克;P·P·A·A·布罗姆;E·L·W·弗帕兰;A·J·范德帕斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 装置 污染物 收集 器件 制造 方法 | ||
【说明书】：
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