[发明专利]制造薄膜图案层的方法

说明书

【技术领域】

本发明涉及一种制造薄膜图案层的方法。

【背景技术】

被动式显示装置，如液晶显示器，需通过彩色滤光片将通过的白光转化为红、绿、蓝三原色光束达成显示不同色彩影像的效果。彩色滤光片主要包括黑矩阵及薄膜图案层，该薄膜图案层是由交替排列的红、绿、蓝三色颜色层(Color Area)组成。

一种现有技术制造薄膜图案层的方法如图1所示，其是以喷墨技术制造薄膜图案层的方法，其主要包括下列步骤：在基板上形成黑矩阵；在该形成有黑矩阵的基板上涂布一光阻层；利用光罩对该光阻层进行曝光；对该光阻层进行显影制得若干挡墙；通过喷墨法将墨水注入该挡墙之间；固化该墨水。

以下结合图2至图7对制造薄膜图案层的方法进行说明。

如图2所示，提供一基板10，例如玻璃基板，在基板10的上表面上形成黑矩阵11。

如图3所示，利用干膜法或湿式旋转法在上述基板10上形成负型光阻层121。

如图4所示，利用一光罩141由该基板10的上表面进行曝光。

如图5所示，对该曝光后的负型光阻层121进行显影，显影后制得若干位于黑矩阵11上的挡墙12，每相邻的两挡墙12之间形成空间。

如图6所示，利用喷墨装置，例如热泡式喷墨装置或者压电式喷墨装置，将需要的颜色的墨水以微流体131注入挡墙12之间的空间内。

如图7所示，利用固化装置，例如加热装置或者发光装置，将该墨水烘干或交连或二者兼有的，以形成平坦的颜色层13，该颜色层13可以为红色，相应地，其它的蓝颜色层及绿颜色层依次形成在该红颜色层13的一侧。

在上述制造薄膜图案层的方法中，挡墙12的制程使用的是光微影法，然而，光微影法在光阻121显影时，由于显影完成点不好控制，挡墙12之间的空间内容易发生光阻121残留的现象，当利用喷墨装置将墨水以微流体131注入挡墙12之间的空间内时，墨水涂布在残留的光阻121上，而造成墨水在该处的附着较差，容易形成漏光。

【发明内容】

有鉴于此，提供一种制造薄膜图案层的方法实为必需。

一种制造薄膜图案层的方法，其包括以下步骤：提供一基板，并采用光阻材料以光阻涂布、曝光、显影方式在基板上形成若干挡墙，该若干挡墙间形成若干收容空间；利用等离子装置清洗该基板表面；利用喷墨装置将墨水注入该若干收容空间中；固化该墨水形成薄膜图案层。

与现有技术相比，所述制造薄膜图案层的方法的步骤中，增加利用等离子清洗基板这一过程，能够去除残留在相邻挡墙之间的光阻，使相邻挡墙之间的基板表面变得干净，通过喷墨法将墨水注入该挡墙之间，因为没有残留光阻的存在，故，墨水在该处附着较佳，不易形成漏光。

【附图说明】

图1是现有技术制造薄膜图案层的方法的流程图。

图2至图7是现有技术制造薄膜图案层的方法的示意图。

图8是本发明制造薄膜图案层的方法的流程图。

图9至图16是本发明第一实施例制造薄膜图案层的方法的示意图。

图17至图21是本发明第二实施例制造薄膜图案层的方法的示意图。

【具体实施方式】

下面将结合附图对本发明作进一步详细说明。

如图8所示，是本发明制造薄膜图案层的方法的流程图，其主要包括以下步骤：提供一基板，并采用光阻材料以光阻涂布、曝光、显影方式形成若干挡墙，该若干挡墙间形成若干收容空间；利用等离子装置清洗该基板表面；利用喷墨装置将墨水注入该若干收容空间中；固化该墨水形成薄膜图案层。

第一实施例结合图9至图16对制造薄膜图案层的方法进行说明。

如图9所示，提供一基板20，例如玻璃基板，在该基板20的上表面涂布一第一光阻材料层210，该第一光阻材料层210的材料为用来制造黑矩阵的感光材料。将涂布有第一光阻材料层210的基板20干燥，使第一光阻材料层210中的溶剂挥发掉。

如图10所示，将具有预定黑矩阵图案的第一光罩241设于该第一光阻材料层210与曝光机光源251之间，并曝光该第一光阻材料层210。

如图11所示，利用显影方式将非黑矩阵图案部分的第一光阻材料层210去除，形成黑矩阵21。将形成有黑矩阵21的基板20加热，进一步固化该黑矩阵21。

如图12所示，在形成有黑矩阵21的基板20的上表面涂布一第二光阻材料层221。将涂布有第二光阻材料层221的基板20干燥，使第二光阻材料层221中的溶剂挥发掉。