[发明专利]涂布装置和彩色滤光片制造方法无效
申请号: | 200610061608.0 | 申请日: | 2006-07-12 |
公开(公告)号: | CN101105632A | 公开(公告)日: | 2008-01-16 |
发明(设计)人: | 黄君斌 | 申请(专利权)人: | 群康科技(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16;G02B5/20;G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 彩色 滤光 制造 方法 | ||
技术领域
本发明是关于一种用于制造彩色滤光片的涂布装置,还关于一种采用该涂布装置的彩色滤光片制造方法。
背景技术
液晶显示装置是一种被动式显示装置,为达到彩色显示的效果,需要为其提供一彩色滤光片(Color Filter,CF),其作用是将通过的白光转化为红(R)、绿(G)、蓝(B)三原色光束,并配合薄膜晶体管(ThinFilm Transistor,TFT)层及其间的液晶等其它元件以达成显示不同色彩影像的效果。
请参阅图1,是一种现有技术的彩色滤光片的示意图。该彩色滤光片1包括:一玻璃基底10、一位于该玻璃基底10上的黑矩阵11、位于黑矩阵11之间的着色层12、设置在着色层12表面的透明保护层13和设置在透明保护层13表面的透明导电层14。该着色层12由RGB三种着色单元组成,其材质为颜料(pigment)或染料(dye)。
重复规则排列该三种着色单元在该玻璃基底10上以分别透过RGB三原色光,阻挡其它波长的光透过。该黑矩阵11设置在该三着色单元之间,其作用是遮断透过三着色单元间的光线,防止光线泄漏且阻止着色材质混合。透明保护层13是为使得彩色滤光片表面平坦化而设置。而透明导电层14则与一TFT数组(图未示)配合控制该着色层12各着色单元的光线透过多少以显示不同的颜色。
请参阅图2,是图1所示彩色滤光片1的制造方法的流程图,主要包括以下步骤:提供一玻璃基底10(步骤S1);形成黑矩阵11在该玻璃基底10上(步骤S2);涂布第一颜色光阻层在该玻璃基底10上(步骤S3);对第一颜色光阻层曝光显影形成第一颜色着色层(步骤S4);涂布第二颜色光阻层在该玻璃基底10上(步骤S5);对第二颜色光阻层曝光显影形成第二颜色着色层(步骤S6);涂布第三颜色光阻层在该玻璃基底10上(步骤S7);对第三颜色光阻层曝光显影形成第三颜色着色层(步骤S8);形成透明保护层13在该着色层12表面(步骤S9);形成透明导电层14在该透明保护层13表面(步骤S10)。
请参阅图3,是图2中光阻涂布步骤中采用的涂布装置的示意图。该光阻涂布装置20包括一承载机台21及一喷嘴(Nozzle)22。该承载机台21可相对于该喷嘴22移动,且其包括一承载面211,该承载面211用于承载该玻璃基底10。再请一并参阅图4,该喷嘴22包括一光阻液容置腔(图未示)及一位于该光阻液容置腔一端的光阻液喷射口222。该光阻液喷射口222为一狭长的开口。该喷嘴22相对于该承载面211设置,该光阻液喷射口222朝向该承载面211。涂布光阻时,该形成有黑矩阵的玻璃基底放置在该承载机台21上,光阻液从该光阻液喷射口222射出,该承载机台21相对于该喷嘴22移动,从而使光阻液均匀涂布到该形成有黑矩阵的玻璃基底上。
但是,该彩色滤光片制造须重复进行涂布光阻、曝光显影各三次,制造步骤多、效率低。且该制造需要三组机台,成本较高。
发明内容
为解决上述用于彩色滤光片制造的涂布装置成本较高的问题,有必要提供一种可以降低成本的用于彩色滤光片制造的涂布装置。
还有必要提供采用该涂布装置的彩色滤光片制造方法。
一种涂布装置,其包括一承载机台和一喷嘴装置,该承载机台用于承载待涂布的基底,该喷嘴装置对应于该承载机台设置,该喷嘴装置包括与承载机台相对的三列喷射口,该三列喷射口分别与欲制造的彩色滤光片的不同颜色的着色单元对应,该三列喷射口在该喷嘴装置长度方向上的投影依序间隔排列。
使用上述涂布装置的一种彩色滤光片的制造方法,其步骤包括:提供一基底;该基底上形成一黑矩阵;将该形成有黑矩阵的基底放置在一承载机台上,该承载机台上方对应该基底的一喷嘴装置内可分别盛装三种不同颜色的光阻液,并由喷嘴装置的三列喷射口分别将所述三种颜色光阻液喷射涂布在该形成有黑矩阵的基底上,以形成由三种不同颜色的着色层。
与现有技术相比,由于本发明涂布装置及彩色滤光片制造方法中应用的该喷嘴装置包括与承载机台相对的三列喷射口,且该三列喷射口分别与欲制造的彩色滤光片的不同颜色的着色单元对应,该三列喷射口在该喷嘴装置的长度方向上的投影依序间隔排列,因此将不同颜色的光阻液盛装于喷嘴装置内并分别由该三列喷射口喷射出即可,故可通过该涂布装置一次形成间隔分布的三种颜色的着色层,无须重复涂布、重复曝光显影。因此可简化制造步骤,提高效率,并且该制造只需要一组机台,可降低制造成本。
附图说明
图1是现有技术的彩色滤光片的示意图。
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