[发明专利]磁控管阴极用钼组件的制造方法

权利要求书

1.一种磁控管阴极用钼组件的制造方法，主要包括以下步骤：

第一步，把钼粉填充于专用的模具内，加压压制成钼端帽坯体；然后在中频感应烧结炉中还原性气体中对钼端帽坯体进行烧结，其中烧结温度规定在1650℃至1800℃范围内，烧结时间范围为2小时至6小时，获得抗弯折强度大于35kg/mm²的上钼端帽与下钼端帽；

第二步，将所获取的上钼端帽与下钼端帽分别与一环形焊料片焊接在一起；

第三步，将焊有环形焊料片的上钼端帽与中心钼引线杆焊接在一起，将焊有环形焊料片的下钼端帽与侧钼引线杆焊接在一起。

2.根据权利要求1所述的磁控管阴极用钼组件的制造方法，其中加压压制成钼端帽坯体时，其钼粉是采用费氏平均粒度2.5um至4.0um间范围内的钼粉，成型压力采用1.5吨/cm²至2.5吨/cm²间范围内的成型压力。

3.根据权利要求1所述的磁控管阴极用钼组件的制造方法，其中所得到钼端帽坯体的密度范围为5g/cm³至7g/cm³。

4.根据权利要求1所述的磁控管阴极用钼组件的制造方法，其中烧结温度取1680℃至1750℃间的范围内。

5.根据权利要求1所述的磁控管阴极用钼组件的制造方法，其中所述的还原性气体是指氢气。

6.根据权利要求5所述的磁控管阴极用钼组件的制造方法，其中使用氢气的流量范围为1Nm³/小时至5Nm³/小时。

7.根据权利要求1所述的磁控管阴极用钼组件的制造方法，其中所述的环形焊料片是指Mo-Ru或Mo-Ru-Ni组成的环形焊料片。

8.根据权利要求7所述的磁控管阴极用钼组件的制造方法，其中Mo-Ru组成的环形焊料片是由钼和30％~60％重量的Ru组成，其重量为12mg，外径为∮3.92mm，内径为∮3.0mm，厚度为0.3mm。

9.根据权利要求7所述的磁控管阴极用钼组件的制造方法，其中Mo-Ru-Ni组成的环形焊料片是由钼和30％~60％重量的Ru和10％~40％重量的Ni组成，其重量为12mg，外径为∮3.92mm，内径为∮3.0mm，厚度为0.3mm。

10、根据权利要求1至9中任意一项所述的磁控管阴极用钼组件的制造方法，其中第二步中，上钼端帽与下钼端帽分别与一环形焊料片焊接时，是利用激光同时作多点焊接的焊接方法。