[发明专利]在线监控透镜散光的方法

权利要求书

1.一种在线监控透镜散光的方法，其特征在于，包括下列步骤：

首先，利用光刻机自身曝光光波，通过一透镜系统将掩膜板平面上的测试结构和汇聚到硅片平面上的测试结构的空间像分别记录在一焦平面空间像收集探测器阵列上；

然后，对上述两组记录在电子探测器阵列上的空间像至少在X方向和Y方向上的成像结果进行比较，解算出镜头在X方向和Y方向上的物距补偿距离；

最后，根据对X方向和Y方向上物距的差异，通过一反馈系统对透镜组环境参数进行调整，完成对整个透镜组散光的补偿。

2.根据权利要求1所述的在线监控透镜散光的方法，其特征在于，其中，所述透镜系统至少包括：主透镜组、傅立叶平面附近的45度角度分束板组、45度角度反光镜组、投影透镜、焦平面空间像收集探测器阵列、电子控制光快门组。

3.根据权利要求2所述的在线监控透镜散光的方法，其特征在于，所述傅立叶平面附近的45度角度分束板组至少包括上、下两块45度角度分束板。

4.根据权利要求1或2所述的在线监控透镜散光的方法，其特征在于，所述焦平面空间像收集探测器阵列由多个探测器单元组成，其中每一个探测器单元至少包括一放大透镜和一像传感器。

5.根据权利要求2所述的在线监控透镜散光的方法，其特征在于，所述电子控制光快门组至少包括上下两个快门，通过开启或关闭上下快门，使能或阻挡来自掩膜板或硅片平面的光强分布分别记录到所述焦平面空间像收集探测器阵列上。

6.根据权利要求1所述的在线监控透镜散光的方法，其特征在于，所述测试结构可包括十字架和以任意角度、方式空间排列的任何适合监测的图形。

7.根据权利要求1到6中任意一项所述的在线监控透镜散光的方法，其特征在于，所述记录过程的具体步骤包括：一方面，在测量镜头时，掩膜板平面上的测试结构通过上45度角度分束板，并通过开启上快门，关闭下快门，使得来自掩膜板的光强分布成像到焦平面空间像收集探测器阵列上，并记录下该图像；另一方面，当硅片平台调整到最佳聚焦位置时，汇聚在硅片平面上的特定测试结构的一组像通过下45度角度分束板，并通过开启下快门，关闭上快门，使得来自硅片平面的光强分布成像到焦平面空间像手机探测器阵列上，并记录下该图像。

8.根据权利要求1所述的在线监控透镜散光的方法，其特征在于，所述环境参数的调整至少包括：镜头组的温度控制、压力调节以及气流控制。

9.根据权利要求1所述的在线监控透镜散光的方法，其特征在于，所述光刻机自身曝光光波的波长为436nm、365nm、248nm、193nm或157nm。

10.根据权利要求1所述的在线监控透镜散光的方法，其特征在于，所述光刻机可为扫描式或非扫描式、四倍或其他任何倍率的投影光刻机。