[发明专利]蓝宝石衬底材料表面粗糙度的控制方法无效
| 申请号： | 200610013982.3 | 申请日： | 2006-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN1857865A | 公开（公告）日： | 2006-11-08 |
| 发明（设计）人： | 刘玉岭;牛新环;檀柏梅;刘钠 | 申请（专利权）人： | 天津晶岭微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/16 | 分类号： | B24B9/16;C09G1/02 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 | 代理人： | 闫俊芬 |
| 地址： | 300384天津市高技*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 衬底 材料 表面 粗糙 控制 方法 | ||
【权利要求书】：
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