[发明专利]对微电子电路的计量表征

权利要求书

1.一种平面对象的偏振测量方法，该平面对象具有规则重复的图形并且形成栅格线，该方法包括在形成测量光束的所述对象上产生激励入射光束，其相对于该对象的取向用入射角θ和方位角φ表示，其特征在于

在入射角θ₁以及第一方位角φ₁下，在零阶进行第一测量，

在入射角θ₂以及第二方位角φ₂下，在零阶进行至少第二测量，

对入射光束的偏振态进行调制，并且对每次测量分析反射光束的偏振态，以便获得实验偏振测量数据，

对真实对象的模型对象计算理论偏振测量数据，所述模型对象包括利用电磁学理论可调节的参数，

通过对于可调节参数的不同值，将所述测量值与理论偏振测量数据进行反复比较，来表征所述对象。

2.根据权利要求1的偏振测量方法，其特征在于，所述理论偏振测量数据和所述测量值的每一个均用完全的Mueller矩阵表示。

3.根据权利要求2的偏振测量方法，其特征在于，所述理论偏振测量数据和所述测量值通过对所述完全的Mueller矩阵的特征值的线性组合获得。

4.根据权利要求1至3中任一项的偏振测量方法，其特征在于，相对于图形的重复方向，方位角φ₁和φ₂在30°和90°之间，有利的是在30°和60°之间。

5.根据权利要求1至4中任一项的偏振测量方法，其特征在于，相对于波长获得偏振测量值，以获得光谱测量值。

6.根据权利要求5的偏振测量方法，其特征在于，波长的光谱范围在近紫外范围。

7.根据权利要求5的偏振测量方法，其特征在于，波长的光谱范围在可见光范围。

8.根据权利要求1至7中任一项的偏振测量方法，其特征在于，所述反复比较是最小二乘类型的方法。

9.根据权利要求1至8中任一项的偏振测量方法，其特征在于，对于具有非对称轮廓的栅格，所述理论偏振测量数据的计算使用Weidner模型类型的方法。

10.一种用于执行根据权利要求1至9中任一项的偏振测量方法的设备，包括光源，两个偏振计，所述偏振计的每一个包括偏振态发生器(PSG)(11，12)，偏振态分析器(PSA)(13，14)和检测器，其特征在于：

一个方位角φ₁的方位取向不同于另一个方位角φ₂的方位取向，

通过一个和另一个在所述对象上测量的点是重合的。

11.一种用于执行根据权利要求1至9中任一项的偏振测量方法的设备，包括：用于激励对象(29)的光源(21)；偏振态发生器(PSG)(25)；光学装置，其能够将所述光源(21)产生的激励光通量朝向所述对象(29)导引；偏振态分析器(PSA)(30)；检测器(33)，其能够接收所述对象(29)响应于激励通量产生的测量光通量；测量光学装置，其收集所述对象(29)产生的测量光通量，并将其朝向所述检测器(33)导引，其特征在于，所述设备还包括能够使所述检测器根据在对象(29)上的激励光通量的方位角和反射光通量的偏振态产生不同的测量的装置。

12.根据权利要求11的用于执行偏振测量方法的设备，其特征在于，其包括在所述对象处的光学装置，诸如所述激励光束，显示出在所述光源(21)的衍射极限的5和100倍之间的范围的弱的空间相干性。

13.根据权利要求12的用于执行偏振测量方法的设备，其特征在于，所述光源(21)是经过滤光的常规光源。

14.根据权利要求12的用于执行偏振测量方法的设备，其特征在于，所述光源(21)包括不同波长的一个或多个激光器。

15.根据权利要求11至14中任一项的用于执行偏振测量方法的设备，其特征在于，其包括能够将所述光通量分别分为激励和测量通量的半透明片(26)。