[发明专利]制造光学多层膜滤波器的方法和光学多层膜滤波器无效
| 申请号： | 200580044337.1 | 申请日： | 2005-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN101088033A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 山口庆和;米仓正明;大槻东洋 | 申请（专利权）人： | 中央硝子株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制造 光学 多层 滤波器 方法 | ||
【权利要求书】：
1、制造光学多层膜滤波器的方法，其包括如下步骤：在基板上形成树脂层；在所述树脂层上形成光学多层膜；和将所述光学多层膜从与所述树脂层的界面剥离。
2、权利要求1的制造光学多层膜滤波器的方法，其特征在于，包括将所述光学多层膜和所述树脂层切割成期望尺寸的步骤，该步骤在形成所述光学多层膜的步骤和剥离步骤之间。
3、权利要求1或2的制造光学多层膜滤波器的方法，其特征在于，所述树脂为氟化聚酰亚胺。
4、权利要求1-3中任一项的制造光学多层膜滤波器的方法，其特征在于，在所述剥离步骤中，通过浸入水或盐酸水溶液，将所述光学多层膜从所述氟化聚酰亚胺膜剥离。
5、权利要求1-4中任一项的制造光学多层膜滤波器的方法，其中将所述光学多层膜从所述氟化聚酰亚胺膜剥离的方法的特征在于，通过形成从所述光学多层膜侧到达所述氟化聚酰亚胺膜的上部或基板的深度的分离凹槽(切口)，随后浸入水或盐酸水溶液中，从而把所述光学多层膜从所述氟化聚酰亚胺膜剥离并获得预定尺寸的滤波器。
6、由权利要求1-5的任一项的方法制造的多层膜滤波器。
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