[发明专利]光束均化器和激光照射装置有效
| 申请号： | 200510071783.3 | 申请日： | 2005-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN1740845A | 公开（公告）日： | 2006-03-01 |
| 发明（设计）人： | 田中幸一郎;大石洋正 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | G02B27/10 | 分类号： | G02B27/10;G02B3/00;H01L21/00;B23K26/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳;梁永 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光束 均化器 激光 照射 装置 | ||
【说明书】：
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