[发明专利]一种微型平板静电驱动器及其制作方法无效
| 申请号： | 200510042712.0 | 申请日： | 2005-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN1693180A | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | 苑伟政;乔大勇;虞益挺;饶伏波;马志波;李晓莹 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 | 代理人： | 杨国文 |
| 地址： | 710072陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微型 平板 静电 驱动器 及其 制作方法 | ||
【说明书】：
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