[发明专利]用于工具上半导体仿真的系统和方法有效
申请号: | 200480028518.0 | 申请日: | 2004-09-30 |
公开(公告)号: | CN1860440A | 公开(公告)日: | 2006-11-08 |
发明(设计)人: | 安德杰·S·米托维克 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | G06F9/45 | 分类号: | G06F9/45;G06F7/62;G06F17/50 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 王怡 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 工具 上半 导体 仿真 系统 方法 | ||
【说明书】:
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