[发明专利]用于高效清洁/抛光半导体晶片的组合物和方法无效
| 申请号： | 200480017729.4 | 申请日： | 2004-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN1871333A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·B·科岑斯基;许从应;托马斯·H·鲍姆;大卫·明塞克;埃利奥多·G·根丘 | 申请（专利权）人： | 高级技术材料公司 |
| 主分类号： | C11D1/00 | 分类号： | C11D1/00;B08B3/08;C11D3/30;B08B3/04 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;杨青 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 高效 清洁 抛光 半导体 晶片 组合 方法 | ||
【说明书】：
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