[发明专利]氟代环烯烃聚合物及在深紫外类光刻胶中的应用有效
| 申请号： | 200410091156.1 | 申请日： | 2004-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN1779569A | 公开（公告）日： | 2006-05-31 |
| 发明（设计）人： | 罗杰·森特;陈昕;黄志齐;郑金红 | 申请（专利权）人： | 北京科华微电子材料有限公司;北京化学试剂研究所 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京金富邦专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 孙伯庆;揭玉斌 |
| 地址： | 101113北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氟代环 烯烃 聚合物 深紫 光刻 中的 应用 | ||
【说明书】：
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