[发明专利]用铒离子注入勃姆石方法制备掺铒氧化铝光波导薄膜无效
| 申请号： | 200410021335.8 | 申请日： | 2004-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN1560658A | 公开（公告）日： | 2005-01-05 |
| 发明（设计）人： | 雷明凯;王兴军;杨涛;王辉;曹保胜 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G02B6/20 | 分类号： | G02B6/20 |
| 代理公司： | 大连星海专利事务所 | 代理人： | 修德金;裴毓英 |
| 地址： | 116024辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子 注入 石方 法制 备掺铒 氧化铝 波导 薄膜 | ||
【说明书】：
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