[发明专利]抛光和/或清洁铜互连和/或薄膜的方法及所用的组合物无效
| 申请号： | 200380105924.8 | 申请日： | 2003-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN1726265A | 公开（公告）日： | 2006-01-25 |
| 发明（设计）人： | S·克萨里;W·M·拉曼纳;M·J·帕伦特;L·A·扎哲拉 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C23F3/00;C11D1/00;H01L21/321;H01L21/288 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光 清洁 互连 薄膜 方法 所用 组合 | ||
【说明书】：
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