[其他]一种极微流量气体取样微漏孔的制造方法在审
| 申请号： | 101985000007238 | 申请日： | 1985-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1006090B | 公开（公告）日： | 1989-12-13 |
| 发明（设计）人： | 王欲知;刘建生 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | 分类号： | ||
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 | 代理人： | 李晓洪;武登祥 |
| 地址： | 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 极微 流量 气体 取样 漏孔 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1、 一种极微流量气体取样微漏孔的制造方法，是在一平面玻璃片上制作具有1微米到20微米的一小孔，其步骤是：
①用高速钻头在玻璃片上钻出一尚未穿透的凹坑;
②用化学腐蚀的办法，将凹坑进一步变薄;
③用电击穿的方法将凹坑击穿。
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